Vaakumplaatimine pihustusmaterjalide valikul on praegu inimeste jaoks probleemiks olnud, kuna pihustuskate, eriti magnetroni pihustuskattega katmise oskuste arendamine, võib öelda igasuguse teabe kohta, mis võimaldab sihtida õhukeste kilede materjali ettevalmistamist. ioonpommitamise teel, kuna sihtmaterjali pihustamine katmisprotsessis substraadi tüübile avaldab olulist mõju pommitamise kvaliteedile kile, seetõttu on sihtmaterjali nõuded rangemad. Siin õpime koos Beijing Relaxationi toimetajaga pihustamise sihtmärgi rollist vaakumkattes
一、Sihtmaterjali valikupõhimõte ja klassifikatsioon
Sihtmaterjali valikul tuleks lisaks filmi enda kasutamisele arvestada ka järgmiste probleemidega:
Ülesanne 1. Vastavalt membraani kasutus- ja jõudlusnõuetele peab sihtmaterjal vastama puhtuse, ajakirja sisu, komponentide ühtluse, töötluse täpsuse jms tehnilistele nõuetele.
Ülesanne 2. Sihtmaterjalil peab pärast kile moodustamist olema hea mehaaniline tugevus ja keemiline stabiilsus;
Ülesanne 3. Kilematerjalil on vaja kergesti tekitada liitkile reaktsioonigaasi kui reaktiivse pihustuskilega;
Ülesanne 4. Sihtmärk ja maatriks tuleb seada tugevaks, vastasel juhul tuleks võtta maatriksiga hea nakkuv kilematerjal, esmalt pihustada põhjakile kiht ja seejärel valmistada vajalik kilekiht;
Küsimus 5. Eeldusel, et kile toimivusnõuded on täidetud, mida väiksem on sihtmärgi ja maatriksi soojuspaisumisteguri erinevus, seda parem, et vähendada pihustuskile termilise pinge mõju;
Mitmete sagedamini kasutatavate sihtmärkide ettevalmistamine
(1) cr sihtmärk
Kroom kui pihustuskile materjal ei ole mitte ainult lihtne kombineerida alusmaterjaliga, sellel on kõrge nakkuvus ning kroomi- ja oksiidkile CrQ3, selle mehaanilised omadused, happekindlus ja termiline stabiilsus on paremad.
Beijing Ruichi High-tech Co., Ltd., mis tegeleb peamiselt: titaani sihtmärk tsirkooniumi sihtmärk, alumiiniumsihtmärk, nikli sihtmärk, kroomsihtmärk, volframsihtmärk, molübdeenimärk, vase sihtmärk, räni sihtmärk, nioobiumi sihtmärk, tantaali sihtmärk, titaani-räni sulam sihtmärk, titaani-nioobiumisulami sihtmärk, titaani-volframisulamist sihtmärk, titaan-tsirkooniumisulami sihtmärk, nikli-kroomisulamist sihtmärk, ränidioksiidi-alumiiniumisulami sihtmärk, nikli-vanaadiumi sulami sihtmärk, kroomi-alumiiniumi-räni kolmekomponentne sulami sihtmärk, Ti ja si ternaarne sulami sihtmaterjal, mida kasutatakse laialdaselt kaunistustes / kõva pinna ja funktsionaalsuse jaoks kattekiht, arhitektuurne klaas, lameekraan / optiline fotoelektriline, optiline salvestusruum, elektroonika, trükkimise jm elukutsed.
Postitusaeg: juuni-02-2022