Rich Special Material Co., Ltd. saab pooljuhtide tööstusele toota kõrge puhtusastmega alumiiniumist pihustussihtmärke, vasest pihustussihtmärke, tantaali pihustussihtmärke, titaanist pihustussihtmärke jne.
Pooljuhtkiipidel on kõrged tehnilised nõuded ja kõrged hinnad pihustusobjektide jaoks. Nende nõuded pihustusobjektide puhtusele ja tehnoloogiale on kõrgemad kui lameekraanide, päikesepatareide ja muude rakenduste omad. Pooljuhtkiibid seavad eriti ranged standardid pihustusobjektide puhtusele ja sisemisele mikrostruktuurile. Kui pihustusobjekti lisandite sisaldus on liiga kõrge, ei suuda moodustunud kile vastata nõutavatele elektrilistele omadustele. Pihustamisprotsessis on vahvlile lihtne moodustada osakesi, mille tulemuseks on lühis või vooluringi kahjustus, mis mõjutab tõsiselt kile jõudlust. Üldiselt on kiibi tootmiseks vajalik kõrgeima puhtusastmega pihustuseesmärk, mis on tavaliselt 99,9995% (5N5) või kõrgem.
Pihustavaid sihtmärke kasutatakse tõkkekihtide ja metalljuhtmestiku kihtide pakendamiseks. Vahvli valmistamise protsessis kasutatakse sihtmärki peamiselt vahvli juhtiva kihi, tõkkekihi ja metallvõre valmistamiseks. Laastude pakendamise protsessis kasutatakse pihustusobjekti metallikihtide, juhtmestiku kihtide ja muude metallmaterjalide tekitamiseks konaruste all. Kuigi vahvlite valmistamisel ja laastupakendamisel kasutatavate sihtmaterjalide hulk on väike, moodustab SEMI statistika järgi sihtmaterjalide maksumus vahvlite valmistamise ja pakendamise protsessis umbes 3%. Kuid pihustusobjekti kvaliteet mõjutab otseselt juhtiva kihi ja tõkkekihi ühtlust ja jõudlust, mõjutades seeläbi kiibi edastuskiirust ja stabiilsust. Seetõttu on pihustamise sihtmärk üks pooljuhtide tootmise põhilisi tooraineid
Postitusaeg: 16.11.2022