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¿Cuáles son los materiales objetivo de la pulverización catódica con magnetrón?

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Los materiales objetivo de pulverización catódica de alta pureza y alta densidad son:

Material objetivo de pulverización (pureza: 99,9% -99,999%)

1. Objetivo metálico:

Objetivo de níquel, Ni, objetivo de titanio, Ti, objetivo de zinc, Zn, objetivo de cromo, Cr, objetivo de magnesio, Mg, objetivo de niobio, Nb, objetivo de estaño, Sn, objetivo de aluminio, Al, objetivo de indio, In, objetivo de hierro, Fe, Diana de aluminio y circonio, ZrAl, Diana de aluminio y titanio, TiAl, Diana de circonio, Zr, diana de aluminio-silicio, AlSi, diana de silicio, Si, diana de cobre Cu, diana de tantalio T, A, Germanio objetivo, Ge, objetivo de plata, Ag, objetivo de cobalto, Co, objetivo de oro, Au, objetivo de gadolinio, Gd, objetivo de lantano, La, objetivo de itrio, Y, objetivo de cerio, Ce, objetivo de tungsteno, W, objetivo de acero inoxidable, níquel- objetivo de cromo, NiCr, objetivo de hafnio, Hf, objetivo de molibdeno, Mo, objetivo de Fe-Ni, FeNi, objetivo de tungsteno, W, etc.

2. Material objetivo cerámico

objetivo objetivo de ITO, óxido férrico, objetivo de óxido de magnesio, objetivo, objetivo, carburo de silicio, nitruro de silicio, objetivo objetivo de nitruro de titanio, objetivo, objetivo, sulfuro de zinc, óxido de zinc, óxido de cromo, dióxido de silicio, objetivo, objetivo de óxido de silicio, objetivo de óxido de cerio, objetivo, cinco dióxido de circonio oxígeno HuaEr niobio objetivo objetivo, objetivo, dióxido de titanio, dióxido de circonio, hafnio objetivo, objetivo, diboruro de titanio diboruro de circonio objetivo, trióxido de tungsteno objetivo, objetivo de trióxido de aluminio, pentaóxido de tantalio, objetivo de pentaóxido de niobio, objetivo de fluoruro de magnesio, objetivo de fluoruro de itrio, objetivo de seleniuro de zinc, objetivo de nitruro de aluminio, objetivo de nitruro de silicio, objetivo de nitruro de boro, objetivo de nitruro de titanio, objetivo de carburo de silicio, objetivo de niobato de litio, titanato de praseodimio objetivo, objetivo de titanato de bario, objetivo de titanato de lantano, objetivo de óxido de níquel, objetivo de pulverización catódica, etc.


Hora de publicación: 05-ago-2022