Con el desarrollo de la tecnología industrial, la calidad de los objetivos necesarios para la producción industrial también es cada vez mayor, porque la calidad de los objetivos afecta directamente el rendimiento de las películas de pulverización catódica con magnetrón.Hoy en día, las empresas generalmente prefieren utilizar objetivos de alta densidad con una estructura de composición uniforme para el recubrimiento de pulverización catódica cuando compran objetivos, a fin de reducir las costuras múltiples de los objetivos y mejorar la calidad de los recubrimientos de pulverización catódica. Por lo tanto, esto requiere que el fabricante del objetivo cumpla estrictamente controlar la calidad del objetivo. Ahora dejemos que el editor de BeijingricomatLe llevará a comprender qué factores afectan la calidad del objetivo..
1、La influencia de los parámetros del proceso en la calidad del objetivo.
Los parámetros del proceso incluyen principalmente presión de prensado en frío, velocidad de presurización y velocidad de desmoldeo y otros parámetros..Cuando el objetivo se prensa en frío, la presión afectará directamente la calidad del objetivo en blanco;La velocidad de presurización tiene un gran impacto en la estratificación del blanco objetivo, y el estado inicial cuando el polvo se llena uniformemente en el molde negativo es un estado laxo, que tiene muchos poros y gases, y la descarga de gases toma un período de tiempo.
2、ElInfluencia del moho en la calidad objetivo.
El molde también tiene cierta influencia en la formación del blanco objetivo. Los principales factores que influyen incluyen el acabado de la superficie del lado interior del molde, el espacio entre el punzón y la cavidad del molde, etc. Si el espacio es demasiado grande, se producirá corrimiento y fuga de polvo, lo que hará que la densidad marginal de el espacio en blanco bajo y problemas de calidad como la caída del borde durante el desmoldeo.
3、El efecto del contenido de humedad del material sobre la calidad del objetivo.
La humedad contenida en el polvo del material objetivo es equivalente al efecto del lubricante, y su presencia puede reducir la fricción entre las partículas, lo que favorece la transmisión efectiva de la presión de prensado en frío y también favorece un deslizamiento suave y Reordenamiento entre las partículas de polvo..Sin embargo, cuando el contenido de agua es demasiado pequeño o demasiado, afectará la calidad del objetivo.
Cuando el contenido de agua en el polvo de ITO es inferior al 2%, la probabilidad de problemas de calidad, como pérdida de bordes y delaminación del material objetivo, aumentará considerablemente cuando otras condiciones, como la presión de prensado en frío y el contenido de aglutinante, sean las mismas. Cuando el agua El contenido en polvo de ITO es superior al 10%, bajo la misma presión de prensado en frío, contenido de aglutinante y otras condiciones, aunque las partículas de polvo se deslizan y reorganizan más fácilmente, se descarga agua desde el interior del molde, lo que provocará el problema de caída. bordes alrededor del espacio en blanco de el material objetivo.Los resultados muestran que cuando el contenido de agua del polvo está entre el 3% y el 6%, la calidad del blanco se controla eficazmente.
4、Efecto del contenido de aglutinante sobre la calidad del objetivo.
La cantidad de aglutinante incorporada tiene un gran impacto en la calidad del material objetivo. Cuando la cantidad de incorporación es inferior al 1%, el blanco objetivo tendrá un problema de calidad muy grave; en este momento, el efecto del aglutinante no se muestra y tiene poco efecto en la mejora de la resistencia del blanco blanco. Al aumentar la incorporación de aglutinante al 2% y al 3%, se mejora la resistencia del material objetivo y se reduce considerablemente el problema de calidad del material objetivo. Sin embargo, cuando el aglutinante se incorpora al 4%, aunque el problema de calidad de la pieza en bruto prensada en frío del material objetivo desaparece, el material objetivo ocasionalmente se delamina durante el proceso de desmoldeo posterior.
Hora de publicación: 22 de abril de 2022