El objetivo de aleación de titanio de pulverización catódica y el metal de titanio están compuestos de titanio, por lo que la información es más o menos la misma, pero la diferencia entre los dos radica principalmente en que el objetivo de aleación de titanio de pulverización catódica está hecho de metal de titanio de varias maneras, y el titanio se presenta en la naturaleza como un Mineral de titanio. Los objetivos de aleación de titanio pueden usarse ampliamente en muchas categorías ocupacionales. Ahora, el autor de Beijing Richmat resumió varios objetivos de aleación de titanio comunes en términos del uso de la situación para brindarnos una introducción detallada.
一、Objetivos de Ti para circuitos integrados
Los requisitos para la pulverización catódica de objetivos de aleación de titanio son diferentes entre los circuitos no integrados y los circuitos integrados. En general, los circuitos integrados tienen requisitos más altos para los datos de recubrimiento, como mayor pureza, tamaño de grano más pequeño y precisión de escala más precisa. La pureza de los objetivos de titanio en los circuitos integrados es superior al 99,995%, que es mayor que la utilizada en no integrados. Circuitos, lo que indica que los diferentes usos de los requisitos del objetivo de titanio son muy diferentes.
二、Ti objetivo para pantalla plana
Los objetivos de aleación de titanio utilizados en pantallas planas incluyen pantallas de cristal líquido, pantallas de plasma, pantallas de electroluminiscencia y pantallas de emisión de campo. La película delgada de la pantalla plana es un método de formación por pulverización catódica, Al, Cu, Ti y Mo son los principales objetivos de pulverización metálica para pantallas planas. Pantallas. La pureza de los objetivos de aleación de titanio para pantallas planas suele ser superior al 99,9%.
三、Objetivos de Ti para materiales decorativos.
El material objetivo de aleación de titanio de alta pureza tiene una excelente resistencia a la corrosión del aire, el uso prolongado en el aire no cambia de color, para garantizar que el color original del titanio y el contacto humano no sean alérgicos y otras características excelentes. Por lo tanto, el titanio de alta pureza también se puede utilizar como material decorativo; en los últimos años, como pulseras, relojes, gafas y otros adornos, la pureza del titanio ha alcanzado el nivel 5N.
四、Objetivos de Ti para sistemas de bombeo de vacío ultraalto
Como metal químicamente activo, el titanio puede reaccionar con muchos elementos y compuestos a altas temperaturas. El objetivo de aleación de titanio de alta pureza tiene una fuerte capacidad de adsorción de gases activos (como O2, N2, CO, CO2, vapor de agua por encima de 650 °C), y la película de Ti que se evapora en la pared de la bomba puede formar una superficie con un alto rendimiento de adsorción. . Esta propiedad hace que el Ti sea ampliamente utilizado como captador en sistemas de extracción de gas de vacío ultraalto. Si se usa para mejorar la bomba, la bomba de iones de pulverización catódica, etc., puede hacer que la presión operativa máxima de la bomba de iones de pulverización catódica sea tan baja como 10-9PA.
Hora de publicación: 25 de abril de 2022