Los metales refractarios de tungsteno y las aleaciones de tungsteno tienen las ventajas de una estabilidad a altas temperaturas, una alta resistencia a la migración de electrones y un alto coeficiente de emisión de electrones. Los objetivos de tungsteno y aleación de tungsteno de alta pureza se utilizan principalmente para fabricar electrodos de compuerta, cableado de conexión y capas de barrera de difusión de circuitos integrados de semiconductores. Tienen requisitos muy altos en cuanto a pureza, contenido de impurezas, densidad, tamaño de grano y estructura granular uniforme de los materiales. Echemos un vistazo a los factores que influyen en la preparación del objetivo de tungsteno de alta pureza.by Rich material especial co., ltd.
I. Efecto de la temperatura de sinterización
El proceso de formación del embrión objetivo de tungsteno generalmente se realiza mediante presión isostática en frío. El grano de tungsteno crecerá durante la sinterización. El crecimiento del grano de tungsteno llenará el espacio entre los límites del cristal, aumentando así la densidad del objetivo de tungsteno. Con el aumento de los tiempos de sinterización, el aumento de la densidad del objetivo de tungsteno se ralentiza gradualmente. La razón principal es que la calidad del material objetivo de tungsteno no ha cambiado mucho después de varios procesos de sinterización. Debido a que la mayoría de los huecos en el límite cristalino están llenos de cristales de tungsteno, la tasa de cambio de tamaño general del objetivo de tungsteno es muy pequeña después de cada proceso de sinterización, lo que resulta en un espacio limitado para que aumente la densidad del objetivo de tungsteno. A medida que avanza la sinterización, los huecos se llenan con grandes granos de tungsteno, lo que da como resultado un objetivo más denso y de menor tamaño.
2. Efecto dehcomer tiempo de conservación
A la misma temperatura de sinterización, la compacidad del material objetivo de tungsteno mejora con el aumento del tiempo de sinterización. Con el aumento del tiempo de sinterización, el tamaño del grano de tungsteno aumenta y con la extensión del tiempo de sinterización, el factor de crecimiento del tamaño del grano disminuye gradualmente. Esto muestra que aumentar el tiempo de sinterización también puede mejorar el rendimiento del objetivo de tungsteno.
3. Efecto de rodar sobre el objetivo Prendimiento
Para mejorar la densidad de los materiales objetivo de tungsteno y obtener la estructura de procesamiento de los materiales objetivo de tungsteno, el laminado a temperatura media de los materiales objetivo de tungsteno debe realizarse por debajo de la temperatura de recristalización. Cuando la temperatura de laminación del blanco es alta, la estructura de fibra del blanco es más gruesa, mientras que la del blanco es más fina. Cuando el rendimiento de laminación en caliente sea superior al 95%. Aunque se eliminará la diferencia en la estructura de la fibra causada por diferentes granos originales de sinterización o temperaturas de laminado, se formará una estructura de fibra más homogénea dentro del objetivo, por lo que cuanto mayor sea la velocidad de procesamiento del laminado en caliente, mejor será el rendimiento del objetivo.
Hora de publicación: 05-may-2022