El amplio uso de material de tiro en diversas profesiones hace que la demanda de material de tiro sea cada vez mayor. La siguiente Lo haremos presentar brevemente tú ¿Cuáles son los principales requisitos funcionales del objetivo?ing para ayudarte.
Pureza: La pureza es uno de los principales indicadores funcionales del objetivo, porque la pureza del objetivo tiene un gran impacto en la función de la película. Pero en la práctica, la pureza del material objetivo no es la misma. Por ejemplo, con el rápido crecimiento de la profesión de la microelectrónica, el tamaño de la oblea de silicio ha aumentado de 6”, 8” a 12”, y el ancho del cableado ha disminuido de 0,5 um a 0,25 um, 0,18 um e incluso 0,13 um. Una vez que el 99,995% de la pureza objetivo puede cumplir con los requisitos tecnológicos de 0,35UMIC. La preparación de una línea de 0,18 um requiere una pureza del 99,999 % o incluso del 99,9999 % del material objetivo.
Densidad: para reducir la porosidad en el sólido objetivo y mejorar la función de la película de pulverización catódica, generalmente se requiere que el objetivo tenga una alta densidad. La densidad objetivo afecta no sólo a la velocidad de pulverización sino también a las propiedades eléctricas y ópticas de las películas. Cuanto mayor sea la densidad del objetivo, mejor será la función de la película. Además, se aumentaron la densidad y la resistencia del material del objetivo para que sea más capaz de resistir el estrés térmico durante la pulverización catódica. La densidad es también uno de los indicadores funcionales importantes de las sustancias objetivo.
Contenido de impurezas: las impurezas en el sólido objetivo y el oxígeno y el vapor de agua en los poros son las principales fuentes de contaminación de las películas acumuladas. Los diferentes materiales objetivo para diferentes propósitos tienen diferentes requisitos para diferentes contenidos de impurezas. Por ejemplo, los objetivos de aluminio puro y aleaciones de aluminio utilizados en la industria de semiconductores tienen requisitos especiales en cuanto a contenido de metales alcalinos y elementos radiactivos.
Hora de publicación: 06-jun-2022