Los materiales objetivo pulverizados tienen altos requisitos durante su uso, no solo en cuanto a pureza y tamaño de partícula, sino también en cuanto a tamaño de partícula uniforme. Estos altos requisitos nos hacen prestar más atención cuando utilizamos materiales objetivo de pulverización catódica.
1. preparación de farfulla
Es muy importante mantener la limpieza de la cámara de vacío, especialmente del sistema de pulverización. Los lubricantes, el polvo y cualquier residuo de recubrimientos anteriores pueden acumular contaminantes como el agua, afectando directamente el vacío y aumentando la probabilidad de que falle la formación de la película. Los cortocircuitos, la formación de arcos en el objetivo, las superficies rugosas que forman películas y el exceso de impurezas químicas suelen ser causados por cámaras de pulverización, pistolas y objetivos sucios.
Para mantener las características composicionales del recubrimiento, el gas de pulverización (argón u oxígeno) debe estar limpio y seco. Después de instalar el sustrato en la cámara de pulverización catódica, es necesario extraer aire para alcanzar el nivel de vacío requerido para el proceso.
2. Limpieza de objetivos
El objetivo de la limpieza del objetivo es eliminar el polvo o suciedad que pueda existir en la superficie del objetivo.
3. Instalación de destino
Lo más importante a lo que se debe prestar atención durante el proceso de instalación del material objetivo es garantizar una buena conexión térmica entre el material objetivo y la pared de enfriamiento de la pistola de pulverización catódica. Si la pared de enfriamiento o la placa posterior están muy deformadas, pueden causar grietas o dobleces durante la instalación del material objetivo. La transferencia de calor desde el objetivo posterior al material objetivo se verá muy afectada, lo que resultará en la incapacidad de disipar el calor durante la pulverización catódica, lo que en última instancia provocará grietas o desviación del material objetivo.
4. Inspección de cortocircuito y sellado.
Después de la instalación del material objetivo, es necesario verificar el cortocircuito y el sellado de todo el cátodo. Se recomienda utilizar un óhmetro y un megaóhmetro para determinar si el cátodo está en cortocircuito. Después de confirmar que el cátodo no está en cortocircuito, se puede realizar una detección de fugas inyectando agua en el cátodo para determinar si hay alguna fuga.
5. Pre-pulverización del material objetivo
Se recomienda utilizar gas argón puro para la pulverización previa del material objetivo, que puede limpiar la superficie del material objetivo. Se recomienda aumentar lentamente la potencia de pulverización durante el proceso de pulverización previa del material objetivo. El poder del material objetivo cerámico
Hora de publicación: 19 de octubre de 2023