Los materiales objetivo de niobio se utilizan principalmente en recubrimientos ópticos, recubrimientos de materiales de ingeniería de superficies e industrias de recubrimientos como resistencia al calor, resistencia a la corrosión y alta conductividad. En el campo del recubrimiento óptico, se aplica principalmente en productos ópticos oftálmicos, lentes, óptica de precisión, recubrimiento de gran superficie, recubrimiento 3D y otros aspectos.
El material objetivo de niobio suele denominarse objetivo desnudo. Primero se suelda al objetivo posterior de cobre y luego se pulveriza para depositar átomos de niobio en forma de óxidos sobre el material del sustrato, logrando un recubrimiento por pulverización. Con la continua profundización y expansión de la tecnología y la aplicación del objetivo de niobio, los requisitos para la uniformidad de la microestructura del objetivo de niobio han aumentado, lo que se manifiesta principalmente en tres aspectos: refinamiento del tamaño del grano, ausencia de orientación de textura obvia y pureza química mejorada.
La distribución uniforme de la microestructura y las propiedades en todo el objetivo es crucial para garantizar el rendimiento de la pulverización catódica de los materiales objetivo de niobio. La superficie de los objetivos de niobio que se encuentran en la producción industrial suele presentar patrones regulares, que afectan en gran medida el rendimiento de pulverización catódica de los objetivos. ¿Cómo podemos mejorar la tasa de utilización de los objetivos?
A través de investigaciones, se ha descubierto que el contenido de impurezas (pureza objetivo) es un factor importante que afecta la pureza. La composición química de las materias primas es desigual y las impurezas están enriquecidas. Después del procesamiento de laminado posterior, se forman patrones regulares en la superficie del material objetivo de niobio; La eliminación de la distribución desigual de los componentes de la materia prima y el enriquecimiento de impurezas puede evitar la formación de patrones regulares en la superficie de los objetivos de niobio. La influencia del tamaño del grano y la composición estructural sobre el material objetivo puede ser casi insignificante.
Hora de publicación: 19-jun-2023