Todos sabemos que la pulverización catódica es una de las principales tecnologías para preparar materiales cinematográficos. Utiliza los iones producidos por la fuente de iones para acelerar la agregación en el vacío para formar un haz de iones de alta velocidad, bombardear la superficie sólida y los iones intercambian energía cinética con los átomos de la superficie sólida, de modo que los átomos del sólido. superficie deje el sólido y deposite en la superficie del sustrato. El sólido bombardeado es la materia prima para depositar la película mediante pulverización catódica, lo que se denomina objetivo de pulverización catódica.
Se han utilizado ampliamente diversos tipos de materiales de película pulverizada en circuitos integrados de semiconductores, medios de grabación, pantallas planas, revestimientos de superficies de herramientas y troqueles, etc.
Los objetivos de pulverización catódica se utilizan principalmente en las industrias electrónica y de la información, como circuitos integrados, almacenamiento de información, pantallas de cristal líquido, memorias láser, equipos de control electrónico, etc. También se puede utilizar en el campo del revestimiento de vidrio; También se puede utilizar en materiales resistentes al desgaste, resistencia a la corrosión a altas temperaturas, productos decorativos de alta gama y otras industrias.
Hay muchos tipos de objetivos de pulverización catódica y existen diferentes métodos para clasificarlos:
Según su composición, se puede dividir en objetivo metálico, objetivo de aleación y objetivo compuesto cerámico.
Según su forma, se puede dividir en objetivo largo, objetivo cuadrado y objetivo redondo.
Se puede dividir en objetivo microelectrónico, objetivo de grabación magnética, objetivo de disco óptico, objetivo de metal precioso, objetivo de resistencia de película, objetivo de película conductora, objetivo de modificación de superficie, objetivo de máscara, objetivo de capa decorativa, objetivo de electrodo y otros objetivos según el campo de aplicación.
Según las diferentes aplicaciones, se puede dividir en objetivos cerámicos relacionados con semiconductores, objetivos cerámicos de medio registro, objetivos cerámicos de visualización, objetivos cerámicos superconductores y objetivos cerámicos de magnetorresistencia gigante.
Hora de publicación: 29-jul-2022