Las grietas en los objetivos de pulverización catódica suelen producirse en objetivos de pulverización cerámicos, como óxidos, carburos, nitruros y materiales frágiles como cromo, antimonio y bismuto. Ahora dejemos que los expertos técnicos de RSM expliquen por qué el objetivo de pulverización se agrieta y qué medidas preventivas se pueden tomar para evitar esta situación.
Los objetivos cerámicos o de materiales frágiles siempre contienen tensiones inherentes. Estas tensiones internas se generan en el proceso de fabricación objetivo. Además, estas tensiones no se eliminan por completo mediante el proceso de recocido, porque son características inherentes a estos materiales. En el proceso de pulverización, el bombardeo de iones de gas transfiere su impulso a los átomos objetivo, proporcionándoles suficiente energía para separarlos de la red. Esta transferencia de impulso exotérmica hace que la temperatura objetivo aumente, que puede alcanzar los 1.000.000 ℃ a nivel atómico.
Estos choques térmicos aumentan muchas veces la tensión interna existente en el objetivo. En este caso, si el calor no se disipa adecuadamente, el objetivo podría romperse. Para evitar que el objetivo se agriete, se debe enfatizar la disipación de calor. Se requiere un mecanismo de refrigeración por agua para eliminar la energía térmica no deseada del objetivo. Otro tema a considerar es el aumento de potencia. Demasiada energía aplicada en poco tiempo también provocará un choque térmico en el objetivo. Además, sugerimos vincular estos objetivos al backplane, que no solo puede brindar soporte al objetivo, sino también promover un mejor intercambio de calor entre el objetivo y el agua. Si el objetivo tiene grietas pero está adherido a la placa posterior, aún se puede utilizar.
Rich Special Materials Co., Ltd. puede proporcionar objetivos de pulverización catódica con placa posterior. Se puede personalizar según los requisitos del cliente en cuanto a material, espesor y tipo de unión.
Hora de publicación: 21-sep-2022