El material objetivo de óxido de aluminio, un material compuesto principalmente de óxido de aluminio de alta pureza (Al2O3), se utiliza en diversas tecnologías de preparación de películas delgadas, como pulverización catódica con magnetrón, evaporación por haz de electrones, etc. El óxido de aluminio, como material duro y químicamente estable, su material objetivo puede proporcionar una fuente de pulverización estable durante el proceso de preparación de películas delgadas, produciendo materiales de películas delgadas con excelentes propiedades físicas y químicas. Es muy utilizado en semiconductores, optoelectrónica, decoración y protección, etc.
Sus principales áreas de aplicación
Aplicaciones de fabricación de circuitos integrados: Los objetivos de óxido de aluminio se utilizan en el proceso de fabricación de circuitos integrados para formar capas aislantes y dieléctricas de alta calidad, mejorando el rendimiento y la confiabilidad de los circuitos.
Aplicación de dispositivos optoelectrónicos: en dispositivos optoelectrónicos como LED y módulos fotovoltaicos, se utilizan objetivos de óxido de aluminio para preparar películas conductoras transparentes y capas antirreflectantes, mejorando la eficiencia de conversión fotoeléctrica de los dispositivos.
Aplicación de revestimiento protector: una película delgada preparada a partir de objetivos de óxido de aluminio se utiliza en componentes en industrias como la aviación y la automoción para proporcionar una capa protectora resistente al desgaste y a la corrosión.
Aplicación de revestimiento decorativo: En los campos de muebles, materiales de construcción, etc., la película de óxido de aluminio se utiliza como revestimiento decorativo para proporcionar estética y al mismo tiempo proteger el sustrato de la erosión ambiental externa.
Aplicaciones aeroespaciales: en el campo aeroespacial, los objetivos de óxido de aluminio se utilizan para preparar capas protectoras resistentes a altas temperaturas y altas presiones, protegiendo los componentes críticos de un funcionamiento estable en entornos especiales.
Hora de publicación: 27 de junio de 2024