Ventajas de los objetivos de pulverización catódica con magnetrón cilíndrico y plano

¿El consultor técnico de RSM compartirá con usted las ventajas de los objetivos de pulverización catódica con magnetrones cilíndricos y planos? En comparación con otros objetivos de pulverización catódica con magnetrón, los objetivos de pulverización catódica con magnetrón cilíndricos y planos conservan las ventajas de una buena uniformidad de recubrimiento de los objetivos planos rectangulares y pueden maximizar la utilización de los objetivos a través de las dos formas siguientes:

(1) Cuando los dos grupos (cuatro) de hoyos anulares en la superficie del objetivo alcanzan una cierta profundidad, el núcleo del objetivo (parte magnética) se puede girar 45 ° con respecto al tubo del objetivo, de modo que otras áreas del tubo del objetivo que no hayan sido corroídos se pueden utilizar;

(2) Cuando el núcleo objetivo del objetivo de pulverización catódica de magnetrón cilíndrico y plano está diseñado como un núcleo objetivo giratorio (el núcleo objetivo gira durante la pulverización), la superficie del objetivo se puede pulverizar uniformemente capa por capa sin hoyos. En este momento, el objetivo se utilizará de manera más efectiva y la tasa de utilización del objetivo puede alcanzar el 50% ~ 60%. Cuando el material objetivo es un metal precioso, esto obviamente es de gran importancia.

Al utilizar el principio del imán con zapata polar en un objetivo de pulverización catódica de magnetrón cilíndrico coaxial para resolver el problema del campo magnético final, el objetivo plano rectangular se puede transformar en un objetivo de pulverización catódica de magnetrón cilíndrico y plano. El objetivo puede maximizar la tasa de utilización del objetivo. manteniendo al mismo tiempo la buena uniformidad del recubrimiento del objetivo plano rectangular para mejorar los beneficios económicos.