La industrio de duonkonduktaĵoj ofte vidas terminon por celmaterialoj, kiuj povas esti dividitaj en oblajn materialojn kaj pakmaterialojn. Pakaĵmaterialoj havas relative malaltajn teknikajn barojn kompare kun oblataj produktadmaterialoj. La produktadprocezo de oblatoj ĉefe implikas 7 specojn de semikonduktaĵoj kaj kemiaĵoj, inkluzive de unu speco de ŝprucanta celmaterialo. Kio do estas la celmaterialo? Kial la celmaterialo estas tiel grava? Hodiaŭ ni parolos pri kio estas la celmaterialo!
Kio estas la celmaterialo?
Simple dirite, la celmaterialo estas la celmaterialo bombadita de altrapidaj ŝargitaj partikloj. Anstataŭigante malsamajn celmaterialojn (kiel aluminio, kupro, neoksidebla ŝtalo, titanio, nikelo-celoj, ktp.), malsamaj filmsistemoj (kiel ekzemple supermalmolaj, eluziĝorezistaj, kontraŭ-korodaj alojaj filmoj ktp.) povas esti akiritaj.
Nuntempe, (pureco) ŝprucantaj celmaterialoj povas esti dividitaj en:
1) Metalaj celoj (pura metala aluminio, titanio, kupro, tantalo, ktp.)
2) Alojaj celoj (nikela kroma alojo, nikela kobalta alojo, ktp.)
3) Ceramikaj kunmetitaj celoj (oksidoj, silicidoj, karburoj, sulfidoj, ktp.).
Laŭ malsamaj ŝaltiloj, ĝi povas esti dividita en: longa celo, kvadrata celo, kaj cirkla celo.
Laŭ malsamaj aplikaj kampoj, ĝi povas esti dividita en: celoj de duonkonduktaĵoj, celoj de ekrano de plata panelo, celoj de suna ĉelo, celoj de konservado de informoj, celoj de modifitaj, celoj de elektronikaj aparatoj kaj aliaj celoj.
Rigardante ĉi tion, vi devus akiri komprenon pri altpuraj sputteraj celoj, same kiel la aluminio, titanio, kupro kaj tantalo uzataj en metalaj celoj. En fabrikado de oblatoj de duonkonduktaĵoj, la aluminia procezo estas kutime la ĉefa metodo por fabrikado de oblatoj 200mm (8 coloj) kaj malsupre, kaj la celmaterialoj uzataj estas ĉefe aluminiaj kaj titanaj elementoj. Fabrikado de oblatoj de 300 mm (12 coloj), plejparte uzante altnivelan kupran interkonektigan teknologion, ĉefe uzante kuprajn kaj tantalajn celojn.
Ĉiuj devus kompreni, kio estas la celmaterialo. Ĝenerale, kun la kreskanta gamo de pecetaj aplikoj kaj la kreskanta postulo en la blatmerkato, certe estos pliiĝo de postulo pri la kvar ĉefaj maldikaj filmaj metalaj materialoj en la industrio, nome aluminio, titanio, tantalo kaj kupro. Kaj nuntempe, ne ekzistas alia solvo, kiu povas anstataŭigi ĉi tiujn kvar maldikajn metalajn materialojn.
Afiŝtempo: Jul-06-2023