Magnetron sputtering tegaĵo estas nova fizika vapora tegmetodo, kompare kun la pli frua vaporiĝa tegmetodo, ĝiaj avantaĝoj en multaj aspektoj estas sufiĉe rimarkindaj. Kiel matura teknologio, magnetrona ŝprucado estis aplikita en multaj kampoj.
Magnetrona ŝprucprincipo:
Orta kampo kaj elektra kampo estas aldonitaj inter la ŝprucita celfosto (katodo) kaj la anodo, kaj la postulata inerta gaso (kutime Ar-gaso) estas plenigita en la alta vakuokamero. La permanenta magneto formas 250-350 gaus magnetan kampon sur la surfaco de la celmaterialo, kaj la orta elektromagneta kampo estas kunmetita kun la alta tensio elektra kampo. Sub la efiko de elektra kampo, Ar-gasa jonigo en pozitivajn jonojn kaj elektronojn, celas kaj havas certan negativan premon, de la celo de la poluso per la efiko de magneta kampo kaj la laboranta gasa joniga probablo pliiĝo, formas altan densecan plasmon proksime de la katodo, Ar-jono sub la ago de lorentz-forto, rapidu por flugi al la celsurfaco, bombardante celsurfacon je alta rapideco, La ŝprucitaj atomoj sur la celo sekvas la principon de impeta konvertiĝo kaj forflugas de la celsurfaco kun alta kinetika energio al la substrata demetfilmo.
Magnetrona ŝprucado estas ĝenerale dividita en du specojn: DC-sputtering kaj RF-sputtering. La principo de DC sputtering ekipaĵo estas simpla, kaj la indico estas rapida kiam sputtering metalo. La uzo de RF sputtering estas pli vasta, krom sputtering konduktaj materialoj, sed ankaŭ sputtering nekonduktiva materialoj, sed ankaŭ reaktiva sputtering preparo de oksidoj, nitruroj kaj karburoj kaj aliaj kunmetitaj materialoj. Se la frekvenco de RF pliiĝas, ĝi fariĝas mikroonda plasmo-ŝprucado. Nuntempe, elektrona ciklotrona resonanco (ECR) tipo mikroonda plasmo sputtering estas ofte uzita.
Magnetrona ŝprucado de tegaĵo celmaterialo:
Metala ŝprucanta celmaterialo, tegaĵo de alojo ŝpruciganta tegmaterialon, ceramika ŝprucanta tegmaterialo, borida ceramika ŝpruciganta celmaterialoj, karbura ceramika ŝprucanta celmaterialo, fluorita ceramika ŝprucanta celmaterialo, nitruraj ceramikaj ŝprucantaj celmaterialoj, oksida ceramika celo, selenida ceramika ŝprucanta celmaterialo, siliciuro ceramiko sputtering celo materialoj, sulfuro ceramiko sputtering celmaterialo, Telluride ceramika sputtering celo, alia ceramika celo, krom-dopita siliciooksida ceramika celo (CR-SiO), india fosfida celo (InP), plumba arsenida celo (PbAs), india arsenida celo (InAs).
Afiŝtempo: Aŭg-03-2022