Ni ĉiuj scias, ke ekzistas multaj specifoj de ŝprucado celo,kiu havas awide gamo de apliko.TLi celitaj variaĵoj kutime uzataj en diversaj industrioj ankaŭ estas malsamaj, hodiaŭ ni venu kun PekinoRichmat kune por lerni pri la sputtering cela industriklasifiko.
一、Difino de ŝprucanta celmaterialo
Sputtering estas unu el la ĉefaj teknologioj por prepari maldikfilmajn materialojn. Ĝi uzas la jonojn generitajn de jona fonto por formi ionan faskon kun alta rapideca energio per akcelita agregado en vakuo.Bombardita solida surfaco, jonoj kaj solidaj surfacaj atomoj havas kinetan energion interŝanĝon, tiel ke la atomoj sur la solida surfaco forlasas la solidon kaj deponas sur. la substratsurfaco, la bombadita solido estas la kruda materialo por prepari la sputtering deponitan filmon, konata kiel la sputtering celo.
二、Aplikkampa klasifiko de ŝprucantaj celmaterialoj
1、Semikondukta celo
(1)Ofte uzata materialo:Oftaj celoj en ĉi tiu kampo inkluzivas tantalon, kupron, titanion, aluminion, oron, nikelon kaj aliajn altajn frostopunktajn metalojn.
(2)Uzado：Esence uzu ĉe la decidaj originaj datumoj de integra cirkvito
(3)Funkciaj postuloj：La teknikaj postuloj pri pureco, grandeco, integriĝo estas altaj.
2 、Celmaterialo por plana ekrano
(1)Ofte uzata materialo：Celoj ofte uzataj en ĉi tiu kampo inkluzivas aluminion/kupron/molibdenon/nikelon/niobion/silicon/kromon, ktp.
(2)Uzado：Ĉi tiu speco de celmaterialo estas ĉefe uzata en diversaj specoj de granda areo filmo de televido kaj kajero。
(3)Funkciaj postuloj：Altaj postuloj pri pureco, granda areo, unuformeco kaj tiel plu.
3、Celoj por sunĉeloj
(1)Ofte uzata materialo：Aluminio/kupro/Molibdeno/kromo/ITO/Ta celoj estas ofte uzataj en sunaj ĉeloj.
(2)Uzado：Ĉefe uzata en "fenestra tavolo", barotavolo, elektrodo kaj kondukta filmo kaj aliaj okazoj。
(3)Funkciaj postuloj：Alta lerta postulo, larĝa gamo de uzo.
4、Celmaterialo por konservado de informoj
(1)Ofte uzata materialo：Informo-stokado ofte uzata kobalto/nikelo/feroalojo/kromo/telurio/selenaj celmaterialoj.
(2)Uzado：La celmaterialo ĉi tie estas ĉefe uzata por la kapo, meza tavolo kaj malsupra tavolo de la CD-ROM kaj KD.
(3) Funkciaj postuloj：Alta stoka denseco kaj alta transdona rapido estas postulataj.
5、Celmaterialo por ila modifo
(1)Ofte uzata materialo：Modifo de ilo de titanio/zirkonio/krado/kromo-aluminia alojo kaj aliaj celoj.
(2)Uzado:Ĝi estas kutime uzata por plibonigo de aspekto.
(3)Funkciaj postuloj：Altaj funkciaj postuloj, longa servodaŭro.
6、Celmaterialoj por elektronikaj aparatoj
(1)Ofte uzata materialo:Aluminia alojo/silicidceloj estas ofte uzitaj en elektronikaj aparatoj
(2)Uzado：Ĝenerale uzata por filmrezistiloj kaj kondensiloj.
(3)Funkciaj postuloj：Malgranda grandeco, stabileco, malalta rezista temperaturo-koeficiento
Afiŝtempo: Apr-21-2022