Vakuo tegaĵo en la elekto de sputtering celmaterialoj estis problemo por homoj, nuntempe, ĉar la sputtering tegaĵo, precipe la disvolviĝo de la magnetron sputtering tegkapabloj, povas esti dirita por ajna informo por povi celi materialan preparadon de maldikaj filmoj per jonbombado, ĉar per sputtering celmaterialo en la procezo de la tegaĵo al la speco de substrato, havas gravan efikon sur la kvalito de sputtering filmo, Sekve, la celmaterialaj postuloj estas pli striktaj. Ĉi tie ni lernos pri la rolo de ŝpruciga celo en vakua tegaĵo kune kun La redaktoro de Pekina Malstreĉiĝo
一、Elekta principo kaj klasifiko de celmaterialo
En la elekto de cela materialo, krom la uzo de la filmo mem devus esti elektita, la sekvaj problemoj ankaŭ devus esti konsiderataj:
Problemo 1. Laŭ la uzado kaj agado de postuloj de la membrano, necesas, ke la cela materialo plenumu la teknikajn postulojn de pureco, enhavo de revuo, unuformeco de komponantoj, precizeco de maŝinado ktp.
Problemo 2. La cela materialo devus havi bonan mekanikan forton kaj kemian stabilecon post filmoformado;
Problemo 3. Estas necese ke la filmmaterialo generi kunmetitan filmon facile kun la reakcia gaso kiel la reaktiva ŝprucaĵfilmo;
Problemo 4. Necesas agordi la celon kaj la matrico por esti forta, alie, la filmmaterialo kun bona adhero kun la matrico devus esti adoptita, unue sputter tavolo de malsupra filmo kaj tiam prepari la bezonatan filmtavolo;
Demando 5. Sur la premiso renkonti la agadon postulojn de la filmo, ju pli malgranda estas la diferenco inter la termika ekspansio koeficiento de la celo kaj la matrico, des pli bone, por redukti la influon de la termika streso de la sputtering filmo;
Preparado de pluraj ofte uzataj celoj
(1) cr celo
Kromo kiel sputtering filmo materialo ne nur facile kombini kun la baza materialo havas altan adhero, kaj kromio kaj oksido CrQ3 filmo, ĝiaj mekanikaj propraĵoj, acida rezisto kaj termika stabileco estas pli bonaj.
Pekino Ruichi High-tech Co., Ltd. ĉefe okupiĝis pri: titania celo zirkoniocelo, aluminiocelo, nikela celo, kroma celo, volframa celo, molibdena celo, kupra celo, siliciocelo, niobio celo, tantala celo, titanio-silicia alojo celo, celo de alojo de titanio-niobio, celo de alojo de titanio-niobia, celo de titanio-zirkonia alojo, celilo de alojo de nikelo-kromo, celo de alojo de silic-aluminio, celo de alojo de nikelo-vanadio, celo de ternara alojo de kromio-aluminio-silicio，Ti al si ternara aloja celo-materialo, vaste uzata en ornamado/malmola surfaco kaj funkcia tegaĵo, arkitektura vitro, plata ekrano/optika fotoelektra, optika stokado, elektroniko, presado kaj aliaj profesioj.
Afiŝtempo: Jun-02-2022