1、 Preparo por ŝprucado
Estas tre grave konservi la vakuan ĉambron, precipe la ŝprucsistemon pura. Ajna restaĵo formita de lubrika oleo, polvo kaj antaŭa tegaĵo kolektos akvovaporon kaj aliajn malpurigaĵojn, kiuj rekte influos la malplenan gradon kaj pliigos la eblecon de filmoforma fiasko. Kurtcirkvito aŭ cela arkado, malglata filmsurfaco kaj troa kemia malpura enhavo ofte estas kaŭzitaj de malpura ŝprucaĵkamero, ŝprucpafilo kaj celo. Por aliĝi al la komponaj trajtoj de la tegaĵo, necesas purigi kaj sekigi la ŝprucetan gason (argono aŭ oksigeno). Post kiam la substrato estas instalita en la ŝprucanta ĉambro, la aero devas esti eltirita por atingi la vakuon postulatan de la procezo. La ŝirma kovrilo en la malhela areo, kava muro kaj apuda surfaco ankaŭ devas esti puraj. Kiam ni purigas la vakuan ĉambron, ni rekomendas uzi vitran globan pafblovadon por trakti la polvokovritajn partojn, kune kun kunpremita aero por forigi la fruajn ŝprucantajn restaĵojn ĉirkaŭ la ĉambro, kaj poste trankvile poluri la eksteran surfacon per alumina impregnita sablo. Polurinte la gazan paperon, ĝi estas purigita per alkoholo, acetono kaj dejonigita akvo. Kune, ĝi rekomendas la uzon de industria polvosuĉilo por helppurigado. La celoj produktitaj de Gaozhan-metalo estas pakitaj en malplenaj plastaj sakoj,
Konstruita en malsekeco-rezista agento. Kiam vi uzas la celon, bonvolu ne tuŝi la celon rekte per via mano. Noto: kiam vi uzas la celon, bonvolu porti purajn kaj senpagajn prizorgajn gantojn. Neniam tuŝu la celon rekte per viaj manoj
2、 Celo purigado
La celo de celpurigado estas forigi la polvon aŭ malpuraĵon kiu povas ekzisti sur la surfaco de la celo.
La metala celo povas esti purigita en kvar paŝoj,
La unua paŝo estas purigi per mola tuko sen lanugoj trempita en acetono;
La dua paŝo estas simila al la unua paŝo, purigado per alkoholo;
Paŝo 3: purigu per dejonigita akvo. Post lavado per dejonigita akvo, metu la celon en la fornon kaj sekigu ĝin je 100 ℃ dum 30 minutoj.
La purigado de oksidaj kaj ceramikaj celoj devas esti farita per "senŝtofo".
La kvara paŝo estas lavi la celon per argono kun alta premo kaj malalta akvogaso post forigo de la polva areo, por forigi ĉiujn malpurajn partiklojn kiuj povas formi arkon en la ŝprucsistemo.
3、 Cela aparato
En la procezo de celo-instalado, Z gravaj antaŭzorgoj estas certigi bonan termikan konduktan ligon inter la celo kaj la malvarmiga muro de la ŝprucpafilo. Se la varpado de la malvarmiga stango estas severa aŭ la deformado de la malantaŭa plato estas severa, la cela aparato krevos aŭ fleksos, kaj la varmokondukteco de la malantaŭa celo al la celo estos tre tuŝita, rezultigante la malsukceson de varmodissipado. en la ŝprucprocezo, kaj la celo krevos aŭ maltrafos
Por certigi la termikan konduktivecon, tavolo de grafita papero povas esti remburita inter la katoda malvarmiga muro kaj la celo. Bonvolu atenti zorge kontroli kaj klarigi la platecon de la malvarmiga muro de la ŝprucpafilo uzata por certigi, ke la O-ringo ĉiam estas en loko.
Ĉar la pureco de la malvarmiga akvo uzata kaj la polvo, kiu povas okazi dum la funkciado de la ekipaĵo, estos deponitaj en la katodan malvarmigan akvotankon, necesas kontroli kaj purigi la katodan malvarmigan akvotankon kiam oni instalas la celon por certigi la glatan. cirkulado de malvarmiga akvo kaj ke la enirejo kaj elirejo ne estos blokitaj.
Iuj katodoj estas planitaj por havi malgrandan spacon kun la anodo, do kiam oni instalas la celon, necesas certigi, ke ne estas tuŝo aŭ konduktoro inter la katodo kaj la anodo, alie okazos mallonga cirkvito.
Rigardu la Manlibron de la ekipaĵo-funkciigisto por informoj pri kiel funkciigi la celon ĝuste. Se ne estas tiaj informoj en la uzantmanlibro, bonvolu provi instali la aparaton laŭ la koncernaj sugestoj provizitaj de Gaozhan metalo. Streĉinte la celfiksaĵon, unue streĉu unu riglilon mane, kaj poste streĉu alian riglilon sur la diagonalo mane. Ripetu ĉi tion ĝis ĉiuj rigliloj sur la aparato estas streĉitaj, kaj poste streĉu per io.
4、 Kurta cirkvito kaj streĉa inspektado
Post la kompletigo de la cela aparato, necesas kontroli la mallongan cirkviton kaj streĉecon de la tuta katodo,
Estas proponite determini ĉu ekzistas fuŝkontakto en la katodo uzante rezistmezurilon
Vicdiskriminacio. Post konfirmado, ke ne estas kurta cirkvito en la katodo, oni povas fari likon-detekto, kaj akvo povas esti enkondukita en la katodo por konfirmi ĉu estas akvofluo.
5、 Celo antaŭ ŝprucado
Celo antaŭ sputtering rekomendas puran argonan sputtering, kiu povas purigi la surfacon de la celo. Kiam la celo estas antaŭ ŝprucita, oni rekomendas malrapide pliigi la ŝprucpotencon, kaj la potenco-pliigo de ceramika celo estas 1.5WH / cm2. La antaŭŝpruciga rapideco de metala celo povas esti pli alta ol tiu de ceramika celbloko, kaj akceptebla potenco-pliigo estas 1.5WH / cm2.
En la procezo de antaŭŝprucado, ni devas kontroli la arkadon de la celo. La antaŭŝpruciga tempo estas ĝenerale ĉirkaŭ 10 minutoj. Se ne ekzistas arka fenomeno, senĉese pliigu la ŝprucpotencon
Al la fiksita potenco. Laŭ sperto, la akceptebla Z alta ŝprucpotenco de metala celo estas
25 vatoj / cm2, 10 vatoj / cm2 por ceramika celo. Bonvolu raporti al la agorda bazo kaj sperto de vakua ĉambro premo dum ŝprucado en la manlibro de la sistemo de la uzanto. Ĝenerale, oni devas certigi, ke la akvotemperaturo ĉe la elirejo de malvarmiga akvo estu pli malalta ol 35 ℃, sed Z gravas certigi, ke la cirkulada sistemo de malvarmiga akvo povas funkcii efike.
La rapida cirkulado de supermalvarma akvo forprenas varmon, kio estas grava garantio por certigi daŭran sputteradon kun alta potenco. Por metalceloj, estas ĝenerale rekomendite ke la malvarmiga akvofluo estas
20lpm akvopremo estas ĉirkaŭ 5gmp; Por ceramikaj celoj, estas ĝenerale rekomendite, ke la akvofluo estas 30lpm kaj la akvopremo estas ĉirkaŭ 9gmp.
6、 Celo prizorgado
Por malhelpi fuŝkontakton kaj arkadon kaŭzitan de malpura kavaĵo en la ŝprucprocezo, necesas forigi la ŝprucaĵon akumulitan en la centro kaj ambaŭ flankoj de la ŝpructrako en stadioj,
Ĉi tio ankaŭ helpas uzantojn kontinue ŝpruci je z alta potenco-denseco
7 、 Cela stokado
La celoj provizitaj de Gaozhan-metalo estas enpakitaj en duoble-tavolaj vakuaj plastaj sakoj. Ni rekomendas, ke uzantoj konservu la celojn, ĉu metalajn aŭ ceramikojn, en malplena pakado. Aparte, la ligaj celoj devas esti stokitaj sub vakuokondiĉoj por malhelpi la oksigenadon de la liga tavolo influas la ligan kvaliton. Koncerne la pakadon de metalaj celoj, ni rekomendas, ke Z estu pakita en puraj plastaj sakoj
Afiŝtempo: majo-13-2022