La larĝa uzo de celmaterialo en diversaj profesioj faras la postulon je celmaterialo pli kaj pli alta. La jenaj Ni faros mallonge enkonduku vi kio estas la primaraj funkciaj postuloj de la celo, hoping por helpi vin.
Pureco: Pureco estas unu el la ĉefaj funkciaj indikiloj de la celo, ĉar la pureco de la celo havas grandan efikon al la funkcio de la filmo. Sed en la praktiko, la pureco de la cela materialo ne estas la sama. Ekzemple, kun la rapida kresko de la mikroelektronika profesio,La grandeco de silicia oblato disvolviĝis de 6 ", 8 " ĝis 12 ", kaj la larĝo de drataro malpliiĝis de 0.5um al 0.25um, 0.18um kaj eĉ 0.13um. Unufoje 99.995% de la cela pureco povas plenumi la teknologiajn postulojn de 0.35UMIC. La preparado de 0.18um-linio postulas 99.999% aŭ eĉ 99.9999% purecon de cela materialo.
Denso: Por redukti la porecon en la cela solido kaj plibonigi la funkcion de la ŝprucaĵfilmo, la celo kutime bezonas havi altan densecon. La cela denseco influas ne nur la ŝprucrapidecon sed ankaŭ la elektrajn kaj optikajn trajtojn de la filmoj. Ju pli alta la cela denseco, des pli bona estas la funkcio de la filmo. Krome, la denseco kaj forto de la celmaterialo estis pliigitaj por ke ĝi pli bone povu elteni la termikan streson dum sputtering. Denso ankaŭ estas unu el la gravaj funkciaj indikiloj de celsubstancoj.
Malpura enhavo: malpuraĵoj en la cela solido kaj oksigeno kaj akvovaporo en la poroj estas la primaraj poluofontoj de la amasigitaj filmoj. Malsamaj celmaterialoj por malsamaj celoj havas malsamajn postulojn por malsama malpura enhavo. Ekzemple, celoj de pura aluminio kaj aluminialojo uzataj en la duonkondukta industrio havas specialajn postulojn por enhavo de alkala metalo kaj enhavo de radioaktiva elemento.
Afiŝtempo: Jun-06-2022