Multaj amikoj pri la bontenado de la celo estas pli-malpli demandoj, lastatempe estas ankaŭ multaj klientoj konsultantaj pri la bontenado de la celo rilataj problemoj, lasu redaktiston de RSM por ni dividi pri sputtering celo prizorgado scio .
Kiel devus esti konservitaj ŝprucceloj?
1、 Celo prizorgado
Por eviti kurtcirkviton kaj arkadon kaŭzitan de malpura kavaĵo en la ŝprucprocezo, necesas periode forigi la ŝprucaĵojn amasigitajn en la mezo kaj ambaŭ flankoj de la ŝpructrako, kio ankaŭ helpas uzantojn kontinue ŝpruci kun alta potenco-denseco.
2、 Cela stokado
Ni rekomendas, ke uzantoj konservu la celon (ĉu metalo aŭ ceramiko) en malplena pakado, precipe la taŭga celo devas esti stokita en vakuo por malhelpi la oksigenadon de la taŭga tavolo influas la taŭgan kvaliton. Koncerne la pakadon de metalaj celoj, ni sugestas, ke ili estu pakitaj en puraj plastaj sakoj almenaŭ.
3、 Celo purigado
La unua paŝo estas purigi per mola tuko sen lanugoj trempita en acetono;
La dua paŝo estas simila al la unua paŝo, purigado per alkoholo;
Paŝo 3: purigu per dejonigita akvo. Post purigado per dejonigita akvo, la celo estas metita en la fornon kaj sekigita je 100 ℃ dum 30 minutoj. Oni sugestas uzi "senŝtofon" por purigi oksidajn kaj ceramikajn celojn.
La kvara paŝo estas lavi la celon kun argono kun alta premo kaj malalta humideco por forigi ajnajn malpurajn partiklojn, kiuj povas kaŭzi arkon en la ŝprucsistemo.
4、 Kontrolo pri mallonga cirkvito kaj streĉeco
Post kiam la celo estas instalita, la tuta katodo devas esti kontrolita por mallonga cirkvito kaj streĉeco. Oni rekomendas juĝi ĉu estas kurta cirkvito en la katodo uzante rezistmezurilon kaj megger. Post konfirmado, ke ne estas kurta cirkvito en la katodo, oni povas fari akvan inspektadon, kaj oni povas enkonduki akvon en la katodon por determini ĉu ekzistas akvo.
5、 Pakado kaj transportado
Ĉiuj celoj estas pakitaj en vakuaj sigelitaj plastaj sakoj kun malsekema agento. La ekstera pakaĵo estas ĝenerale ligna skatolo kun kontraŭ-kolizio tavolo ĉirkaŭe por protekti la celon kaj malantaŭo de damaĝo dum transportado kaj stokado.
Afiŝtempo: Jul-15-2022