Ni devas esti tre konataj kun la celo nun, nun ankaŭ la celmerkato pligrandiĝas, jen kio estas la ĉefa agado de ŝprucado de celo dividita de redaktisto de RSM.
La pureco
Pureco de celmaterialo estas unu el la ĉefaj agado-indeksoj, ĉar la pureco de celmaterialo havas grandan influon sur la agado de maldika filmo. Tamen, en praktika apliko, la purecaj postuloj de celmaterialoj ne estas la samaj. Ekzemple, kun la rapida disvolviĝo de la mikroelektronika industrio, la grandeco de silicia blato disvolviĝis de 6 ", 8 " ĝis 12 ", kaj la larĝo de drataro reduktiĝis de 0.5um ĝis 0.25um, 0.18um aŭ eĉ 0.13um. Antaŭe, la pureco de 99.995% cela materialo povas plenumi la procezpostulojn de 0.35umIC. La pureco de la cela materialo estas 99,999% aŭ eĉ 99,9999% por la preparado de 0,18um-linioj.
Malpura enhavo
La malpuraĵoj en la celsolido kaj la oksigeno kaj akvovaporo en la poroj estas la ĉefaj poluofontoj de filmdemetado. Celmaterialoj por malsamaj celoj havas malsamajn postulojn por malsama malpura enhavo. Ekzemple, celoj de pura aluminio kaj aluminialojo uzataj en duonkondukta industrio havas specialajn postulojn por la enhavo de alkalaj metaloj kaj radioaktivaj elementoj.
La denseco
Por redukti la porecon en la cela solido kaj plibonigi la agadon de la ŝprucanta filmo, alta denseco de la celo estas kutime postulata. La denseco de la celo influas ne nur la ŝprucrapidecon sed ankaŭ la elektrajn kaj optikajn trajtojn de la filmo. Ju pli alta la cela denseco, des pli bona estas la filmo-rendimento. Krome, pliigi la densecon kaj forton de la celo igas la celon pli bone elteni la termikan streson en la ŝprucprocezo. Denso ankaŭ estas unu el la ŝlosilaj rendimentindeksoj de celo.
Grajngrandeco kaj grajngrandeco-distribuo
La celo estas kutime polikristala kun grajngrandeco intervalanta de mikrometro ĝis milimetro. Por la sama celo, la ŝprucrapideco de la celo kun malgrandaj grajnoj estas pli rapida ol tiu de la celo kun grandaj grajnoj. La dikecdistribuo de la filmoj deponitaj per ŝpruccelo kun pli malgranda grajngrandecdiferenco (unuforma distribuo) estas pli unuforma.
Afiŝtempo: Aŭg-04-2022