Sputritaj molibdenaj celoj estis vaste uzataj en la elektronika industrio, sunĉeloj, vitra tegaĵo kaj aliaj kampoj pro siaj propraj avantaĝoj. Kun la rapida evoluo de moderna teknologio en miniaturigo, integriĝo, ciferecigo kaj inteligenteco, la uzado de molibdenaj celoj daŭre pliiĝos, kaj la kvalitpostuloj por ili ankaŭ iĝos ĉiam pli altaj. Do ni devas trovi manierojn plibonigi la utiligan indicon de molibdenaj celoj. Nun, la redaktisto de RSM enkondukos plurajn metodojn por plibonigi la utiligan indicon de ŝprucado de molibdenaj celoj por ĉiuj.
1. Aldonu elektromagnetan bobenon sur la reverso
Por plibonigi la utiligan indicon de la ŝprucita molibdencelo, elektromagneta bobeno povas esti aldonita sur la dorsa flanko de la ebena Magnetron ŝprucanta molibdencelo, kaj la magneta kampo sur la surfaco de la molibdena celo povas esti pliigita per pliigo de la fluo de la elektromagneta bobeno, por plibonigi la utiligan indicon de la molibdena celo.
2. Elektu tubforman turniĝantan celmaterialon
Kompare kun plataj celoj, elekti tubforman rotacian celstrukturon elstarigas ĝiajn substantivajn avantaĝojn. Ĝenerale, la utiliga indico de plataj celoj estas nur 30% ĝis 50%, dum la utiliga indico de tubformaj rotaciaj celoj povas atingi pli ol 80%. Plie, kiam vi uzas la turniĝantan kavan tubon Magnetron-sputtering-celo, ĉar la celo povas rotacii ĉirkaŭ la fiksita stango-magneta asembleo la tutan tempon, ne estos redepozicio sur ĝia surfaco, do la vivo de la turniĝanta celo estas ĝenerale pli ol 5 fojojn pli longa. ol tiu de la aviadilcelo.
3. Anstataŭigi per nova ŝprucista ekipaĵo
La ŝlosilo por plibonigi la utiligan indicon de celmaterialoj estas kompletigi la anstataŭigon de ŝpruciga ekipaĵo. Dum la ŝprucprocezo de molibdena ŝprucado celmaterialo, proksimume sesono de la ŝprucantaj atomoj deponos sur la vakua ĉambro muro aŭ krampo post estado trafita de hidrogenaj jonoj, pliigante la koston de purigado de la vakua ekipaĵo kaj malfunkcio. Do anstataŭigi novan ŝprucigan ekipaĵon ankaŭ povas helpi plibonigi la utiligan indicon de ŝprucado de molibdenaj celoj.
Afiŝtempo: majo-24-2023