Η βιομηχανία ημιαγωγών συχνά βλέπει έναν όρο για τα υλικά-στόχους, τα οποία μπορούν να χωριστούν σε υλικά γκοφρέτας και υλικά συσκευασίας. Τα υλικά συσκευασίας έχουν σχετικά χαμηλά τεχνικά εμπόδια σε σύγκριση με τα υλικά κατασκευής γκοφρέτας. Η διαδικασία παραγωγής γκοφρετών περιλαμβάνει κυρίως 7 τύπους ημιαγωγικών υλικών και χημικών ουσιών, συμπεριλαμβανομένου ενός τύπου υλικού στόχων εκτόξευσης. Ποιο είναι λοιπόν το υλικό-στόχος; Γιατί είναι τόσο σημαντικό το υλικό-στόχος; Σήμερα θα μιλήσουμε για το ποιο είναι το υλικό-στόχος!
Ποιο είναι το υλικό-στόχος;
Με απλά λόγια, το υλικό στόχος είναι το υλικό-στόχος που βομβαρδίζεται από φορτισμένα σωματίδια υψηλής ταχύτητας. Με την αντικατάσταση διαφορετικών υλικών-στόχων (όπως αλουμίνιο, χαλκός, ανοξείδωτος χάλυβας, τιτάνιο, στόχοι νικελίου, κ.λπ.), μπορούν να ληφθούν διαφορετικά συστήματα φιλμ (όπως υπερσκληρά, ανθεκτικά στη φθορά φιλμ από κράμα κατά της διάβρωσης κ.λπ.).
Επί του παρόντος, τα υλικά στόχων (καθαρότητας) διασκορπισμού μπορούν να χωριστούν σε:
1) Μεταλλικοί στόχοι (καθαρό μέταλλο αλουμίνιο, τιτάνιο, χαλκός, ταντάλιο κ.λπ.)
2) Στόχοι κράματος (κράμα νικελίου χρωμίου, κράμα νικελίου κοβαλτίου κ.λπ.)
3) Στόχοι κεραμικών ενώσεων (οξείδια, πυριτικά, καρβίδια, σουλφίδια κ.λπ.).
Σύμφωνα με διαφορετικούς διακόπτες, μπορεί να χωριστεί σε: μακρύ στόχο, τετράγωνο στόχο και κυκλικό στόχο.
Σύμφωνα με διαφορετικά πεδία εφαρμογής, μπορεί να χωριστεί σε: στόχους τσιπ ημιαγωγών, στόχους επίπεδων οθονών, στόχους ηλιακών κυψελών, στόχους αποθήκευσης πληροφοριών, τροποποιημένους στόχους, στόχους ηλεκτρονικών συσκευών και άλλους στόχους.
Εξετάζοντας αυτό, θα έπρεπε να έχετε κατανοήσει τους στόχους εκτόξευσης υψηλής καθαρότητας, καθώς και το αλουμίνιο, το τιτάνιο, τον χαλκό και το ταντάλιο που χρησιμοποιούνται σε μεταλλικούς στόχους. Στην κατασκευή γκοφρετών ημιαγωγών, η διαδικασία αλουμινίου είναι συνήθως η κύρια μέθοδος για την κατασκευή πλακών 200 mm (8 ίντσες) και κάτω, και τα υλικά-στόχοι που χρησιμοποιούνται είναι κυρίως στοιχεία αλουμινίου και τιτανίου. Κατασκευή γκοφρέτας 300 mm (12 ιντσών), που χρησιμοποιεί κυρίως προηγμένη τεχνολογία διασύνδεσης χαλκού, κυρίως με χάλκινους και τανταλίου στόχους.
Όλοι πρέπει να καταλάβουν ποιο είναι το υλικό-στόχος. Συνολικά, με το αυξανόμενο εύρος εφαρμογών τσιπ και την αυξανόμενη ζήτηση στην αγορά τσιπ, σίγουρα θα υπάρξει αύξηση της ζήτησης για τα τέσσερα κύρια υλικά λεπτής μεμβράνης μετάλλων στη βιομηχανία, δηλαδή το αλουμίνιο, το τιτάνιο, το ταντάλιο και τον χαλκό. Και επί του παρόντος, δεν υπάρχει άλλη λύση που να μπορεί να αντικαταστήσει αυτά τα τέσσερα μεταλλικά υλικά λεπτής μεμβράνης.
Ώρα δημοσίευσης: Ιουλ-06-2023