Τώρα όλο και περισσότεροι χρήστες κατανοούν τους τύπους στόχων καιτις εφαρμογές του, αλλά η υποδιαίρεση μπορεί να μην είναι πολύ σαφής. Τώρα αςΜηχανικός RSM μοιραστείτε μαζί σαςκάποια επαγωγή των στόχων μάγνητρον.
Στόχος επιμετάλλωσης: στόχος επίστρωσης μετάλλου, στόχος επίστρωσης με διασκορπισμό κράματος, στόχος επίστρωσης κεραμικής διασκορπισμού, κεραμικός στόχος βοριδίου, κεραμικός στόχος διασκορπισμού καρβιδίου, στόχος επιμετάλλωσης κεραμικού φθορίου, στόχος διασκορπισμού κεραμικού φθοριδίου, στόχος επίστρωσης κεραμικού νιτριδίου, στόχος επίστρωσης κεραμικού αζώτου, οξείδιο του κεραμικού στόχου ceramicidera κεραμικός στόχος διασκορπισμού, στόχος θειούχου κεραμικού διασκορπισμού, στόχος κεραμικής τελλουριδίου, άλλοι κεραμικοί στόχοι, κεραμικός στόχος οξειδίου του πυριτίου με πρόσμιξη χρωμίου (CR SiO), στόχος φωσφιδίου του ινδίου (INP), στόχος αρσενιδίου μολύβδου (pbas), στόχος αρσενιδίου ινδίου (InAs).
Η διασκορπισμός μαγνητρονίων χωρίζεται γενικά σε δύο τύπους: διασκορπισμό DC και ραδιοσυχνότητες. Η αρχή του εξοπλισμού διασκορπισμού συνεχούς ρεύματος είναι απλή και ο ρυθμός του είναι επίσης γρήγορος κατά την εκτόξευση μετάλλου. Η εκτόξευση RF χρησιμοποιείται ευρέως. Εκτός από την εκτόξευση αγώγιμων δεδομένων, μπορεί επίσης να εκτοξεύει μη αγώγιμα δεδομένα. Ο στόχος διασκορπισμού μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί για αντιδραστική επιμετάλλωση για την παρασκευή σύνθετων δεδομένων όπως οξείδια, νιτρίδια και καρβίδια. Εάν η συχνότητα ραδιοσυχνοτήτων αυξηθεί, θα γίνει ψεκασμός πλάσματος μικροκυμάτων. Επί του παρόντος, χρησιμοποιείται συνήθως η επιμετάλλωση πλάσματος μικροκυμάτων με συντονισμό ηλεκτρονίων κυκλοτρονίων (ECR).
Ώρα δημοσίευσης: 26 Μαΐου 2022