Ο στόχος έχει ευρεία αγορά, περιοχή εφαρμογής και μεγάλη ανάπτυξη στο μέλλον. Για να σας βοηθήσουμε να κατανοήσετε καλύτερα τις λειτουργίες στόχου, εδώ παρακάτω ο μηχανικός RSM θα παρουσιάσει συνοπτικά τις κύριες λειτουργικές απαιτήσεις του στόχου.
Καθαρότητα: η καθαρότητα είναι ένας από τους κύριους λειτουργικούς δείκτες του στόχου, επειδή η καθαρότητα του στόχου έχει μεγάλο αντίκτυπο στη λειτουργία του φιλμ. Ωστόσο, στην πρακτική εφαρμογή, οι απαιτήσεις καθαρότητας του στόχου είναι επίσης διαφορετικές. Για παράδειγμα, με την ταχεία ανάπτυξη της βιομηχανίας μικροηλεκτρονικών, το μέγεθος της γκοφρέτας πυριτίου επεκτείνεται από 6 “σε 8″ σε 12” και το πλάτος καλωδίωσης μειώνεται από 0,5um σε 0,25um, 0,18um ή ακόμα και 0,13um. Προηγουμένως, το 99,995% της καθαρότητας στόχου μπορεί να ικανοποιήσει τις απαιτήσεις της διαδικασίας του 0,35umic, ενώ η προετοιμασία των γραμμών 0,18um απαιτεί το 99,999% ή ακόμα και το 99,9999% της καθαρότητας στόχου.
Περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες: οι ακαθαρσίες στα στοχευόμενα στερεά και το οξυγόνο και οι υδρατμοί στους πόρους είναι οι κύριες πηγές ρύπανσης των εναποτιθέμενων μεμβρανών. Οι στόχοι για διαφορετικούς σκοπούς έχουν διαφορετικές απαιτήσεις για διαφορετικές περιεκτικότητες ακαθαρσιών. Για παράδειγμα, οι στόχοι καθαρού αλουμινίου και κραμάτων αλουμινίου που χρησιμοποιούνται στη βιομηχανία ημιαγωγών έχουν ειδικές απαιτήσεις για την περιεκτικότητα σε αλκαλικά μέταλλα και την περιεκτικότητα σε ραδιενεργά στοιχεία.
Πυκνότητα: για να μειωθούν οι πόροι στο στερεό στόχο και να βελτιωθεί η λειτουργία του φιλμ διασκορπισμού, ο στόχος συνήθως απαιτείται να έχει υψηλή πυκνότητα. Η πυκνότητα του στόχου δεν επηρεάζει μόνο τον ρυθμό διασκορπισμού, αλλά επηρεάζει επίσης τις ηλεκτρικές και οπτικές λειτουργίες του φιλμ. Όσο μεγαλύτερη είναι η πυκνότητα στόχου, τόσο καλύτερη είναι η λειτουργία του φιλμ. Επιπλέον, η πυκνότητα και η αντοχή του στόχου βελτιώνονται έτσι ώστε ο στόχος να μπορεί να δεχτεί καλύτερα τη θερμική καταπόνηση στη διαδικασία εκτόξευσης. Η πυκνότητα είναι επίσης ένας από τους βασικούς λειτουργικούς δείκτες του στόχου.
Ώρα δημοσίευσης: 20 Μαΐου 2022