1, Προετοιμασία ψεκασμού
Είναι πολύ σημαντικό να διατηρείτε καθαρό τον θάλαμο κενού, ειδικά το σύστημα ψεκασμού. Οποιοδήποτε υπόλειμμα σχηματίζεται από λιπαντικό λάδι, σκόνη και προηγούμενη επίστρωση θα συλλέξει υδρατμούς και άλλους ρύπους, οι οποίοι θα επηρεάσουν άμεσα τον βαθμό κενού και θα αυξήσουν την πιθανότητα αστοχίας σχηματισμού φιλμ. Το βραχυκύκλωμα ή το τόξο στόχου, η τραχιά επιφάνεια μεμβράνης και η υπερβολική περιεκτικότητα σε χημικές ακαθαρσίες προκαλούνται συχνά από ακάθαρτο θάλαμο εκτόξευσης, πιστόλι εκτόξευσης και στόχο. Για να τηρούνται τα χαρακτηριστικά σύνθεσης της επικάλυψης, είναι απαραίτητο να καθαριστεί και να στεγνώσει το αέριο εκτόξευσης (αργό ή οξυγόνο). Μετά την εγκατάσταση του υποστρώματος στον θάλαμο ψεκασμού, ο αέρας πρέπει να εξαχθεί για να φτάσει στο κενό που απαιτείται από τη διαδικασία. Το προστατευτικό κάλυμμα στη σκοτεινή περιοχή, το τοίχωμα της κοιλότητας και η γειτονική επιφάνεια πρέπει επίσης να διατηρούνται καθαρά. Κατά τον καθαρισμό του θαλάμου κενού, συνιστούμε τη χρήση γυάλινων σφαιροβολής για την επεξεργασία των σκονισμένων εξαρτημάτων, μαζί με πεπιεσμένο αέρα για την αφαίρεση των πρώιμων υπολειμμάτων εκτόξευσης γύρω από τον θάλαμο και, στη συνέχεια, γυαλίζουμε αθόρυβα την εξωτερική επιφάνεια με γυαλόχαρτο εμποτισμένο με αλουμίνα. Μετά το γυάλισμα του χαρτιού γάζας, καθαρίζεται με οινόπνευμα, ασετόν και απιονισμένο νερό. Μαζί, υποστηρίζει τη χρήση βιομηχανικής ηλεκτρικής σκούπας για βοηθητικό καθαρισμό. Οι στόχοι που παράγονται από το μέταλλο Gaozhan είναι συσκευασμένοι σε πλαστικές σακούλες σφραγισμένες σε κενό,
Ενσωματωμένο αδιάβροχο παράγοντα. Όταν χρησιμοποιείτε το στόχο, μην αγγίζετε τον στόχο απευθείας με το χέρι σας. Σημείωση: όταν χρησιμοποιείτε το στόχο, φορέστε καθαρά γάντια συντήρησης χωρίς χνούδι. Ποτέ μην αγγίζετε τον στόχο απευθείας με τα χέρια σας
2, Στόχος καθαρισμός
Ο σκοπός του καθαρισμού του στόχου είναι να αφαιρέσετε τη σκόνη ή τη βρωμιά που μπορεί να υπάρχουν στην επιφάνεια του στόχου.
Ο μεταλλικός στόχος μπορεί να καθαριστεί σε τέσσερα βήματα,
Το πρώτο βήμα είναι να καθαρίσετε με ένα απαλό πανί που δεν αφήνει χνούδι εμποτισμένο με ασετόν.
Το δεύτερο βήμα είναι παρόμοιο με το πρώτο βήμα, καθαρισμός με οινόπνευμα.
Βήμα 3: Καθαρίστε με απιονισμένο νερό. Αφού πλύνετε με απιονισμένο νερό, τοποθετήστε τον στόχο στο φούρνο και στεγνώστε τον στους 100 ℃ για 30 λεπτά.
Ο καθαρισμός των οξειδίων και των κεραμικών στόχων θα γίνεται με «πανί χωρίς χνούδι».
Το τέταρτο βήμα είναι να πλύνετε τον στόχο με αργό με υψηλή πίεση και χαμηλό αέριο νερού μετά την αφαίρεση της σκονισμένης περιοχής, έτσι ώστε να αφαιρεθούν όλα τα σωματίδια ακαθαρσίας που μπορεί να σχηματίσουν τόξο στο σύστημα εκτόξευσης
3, Συσκευή στόχου
Κατά τη διαδικασία εγκατάστασης του στόχου, Ζ σημαντικές προφυλάξεις είναι να διασφαλιστεί μια καλή σύνδεση θερμικής αγωγιμότητας μεταξύ του στόχου και του τοιχώματος ψύξης του πιστολιού εκτόξευσης. Εάν η στρέβλωση της ράβδου ψύξης είναι έντονη ή η παραμόρφωση της πίσω πλάκας είναι έντονη, η συσκευή στόχος θα ραγίσει ή θα λυγίσει και η θερμική αγωγιμότητα από τον πίσω στόχο στον στόχο θα επηρεαστεί σε μεγάλο βαθμό, με αποτέλεσμα την αποτυχία της απαγωγής θερμότητας στη διαδικασία εκτόξευσης και ο στόχος θα σπάσει ή θα χαθεί
Προκειμένου να διασφαλιστεί η θερμική αγωγιμότητα, ένα στρώμα χαρτιού γραφίτη μπορεί να τοποθετηθεί μεταξύ του τοιχώματος ψύξης της καθόδου και του στόχου. Προσέξτε να ελέγξετε προσεκτικά και να ξεκαθαρίσετε την επιπεδότητα του τοιχώματος ψύξης του πιστολιού που χρησιμοποιείται για να βεβαιωθείτε ότι ο δακτύλιος O είναι πάντα στη θέση του.
Δεδομένου ότι η καθαρότητα του νερού ψύξης που χρησιμοποιείται και η σκόνη που μπορεί να προκύψει κατά τη λειτουργία του εξοπλισμού θα εναποτεθεί στη δεξαμενή νερού ψύξης καθόδου, είναι απαραίτητο να ελέγξετε και να καθαρίσετε τη δεξαμενή νερού ψύξης καθόδου κατά την εγκατάσταση του στόχου για να διασφαλίσετε την ομαλή κυκλοφορία του νερού ψύξης και ότι η είσοδος και η έξοδος δεν θα φράξουν.
Ορισμένες κάθοδοι έχουν προγραμματιστεί να έχουν μικρό χώρο με την άνοδο, επομένως κατά την εγκατάσταση του στόχου, απαιτείται να διασφαλιστεί ότι δεν υπάρχει επαφή ή αγωγός μεταξύ της καθόδου και της ανόδου, διαφορετικά θα προκύψει βραχυκύκλωμα.
Ανατρέξτε στο Εγχειρίδιο χειριστή του εξοπλισμού για πληροφορίες σχετικά με τον σωστό χειρισμό του στόχου. Εάν δεν υπάρχουν τέτοιες πληροφορίες στο εγχειρίδιο χρήσης, δοκιμάστε να εγκαταστήσετε τη συσκευή σύμφωνα με τις σχετικές υποδείξεις που παρέχονται από το Gaozhan metal. Όταν σφίγγετε το εξάρτημα στόχου, σφίξτε πρώτα ένα μπουλόνι με το χέρι και μετά σφίξτε ένα άλλο μπουλόνι στη διαγώνιο με το χέρι. Επαναλάβετε αυτό μέχρι να σφίξουν όλα τα μπουλόνια στη συσκευή και μετά σφίξτε με κάτι.
4, Επιθεώρηση βραχυκυκλώματος και στεγανότητας
Μετά την ολοκλήρωση της συσκευής στόχου, απαιτείται έλεγχος του βραχυκυκλώματος και της στεγανότητας ολόκληρης της καθόδου,
Προτείνεται να προσδιοριστεί εάν υπάρχει βραχυκύκλωμα στην κάθοδο με τη χρήση μετρητή αντίστασης
Διάκριση σε σειρά. Αφού επιβεβαιωθεί ότι δεν υπάρχει βραχυκύκλωμα στην κάθοδο, μπορεί να πραγματοποιηθεί ανίχνευση διαρροής και να εισαχθεί νερό στην κάθοδο για να επιβεβαιωθεί εάν υπάρχει διαρροή νερού.
5, Στόχευση πριν από την εκτόξευση
Το Target pre sputtering υποστηρίζει το καθαρό αργό sputtering, το οποίο μπορεί να καθαρίσει την επιφάνεια του στόχου. Όταν ο στόχος είναι εκ των προτέρων διασκορπισμένος, προτείνεται να αυξάνεται αργά η ισχύς διασκορπισμού και ο ρυθμός αύξησης ισχύος του κεραμικού στόχου είναι 1,5 WH / cm2. Η ταχύτητα πριν την εκτόξευση του μεταλλικού στόχου μπορεί να είναι υψηλότερη από αυτή του κεραμικού μπλοκ στόχου και ένας λογικός ρυθμός αύξησης ισχύος είναι 1,5 WH / cm2.
Κατά τη διαδικασία της εκτόξευσης, πρέπει να ελέγξουμε το τόξο του στόχου. Ο χρόνος πριν την εκτόξευση είναι γενικά περίπου 10 λεπτά. Εάν δεν υπάρχει φαινόμενο τόξου, αυξάνετε συνεχώς την ισχύ εκτόξευσης
Στην καθορισμένη ισχύ. Σύμφωνα με την εμπειρία, η αποδεκτή Z υψηλή ισχύς εκτόξευσης του μεταλλικού στόχου είναι
25watt / cm2, 10watt / cm2 για κεραμικό στόχο. Ανατρέξτε στη βάση ρύθμισης και στην εμπειρία της πίεσης του θαλάμου κενού κατά τη διάρκεια της ψεκασμού στο εγχειρίδιο λειτουργίας του συστήματος του χρήστη. Γενικά, θα πρέπει να διασφαλιστεί ότι η θερμοκρασία του νερού στην έξοδο του νερού ψύξης πρέπει να είναι χαμηλότερη από 35 ℃, αλλά Z είναι σημαντικό να διασφαλιστεί ότι το σύστημα κυκλοφορίας του νερού ψύξης μπορεί να λειτουργήσει αποτελεσματικά
Η ταχεία κυκλοφορία του υπερψυκτικού νερού αφαιρεί τη θερμότητα, η οποία αποτελεί σημαντική εγγύηση για τη διασφάλιση συνεχούς ψεκασμού με υψηλή ισχύ. Για μεταλλικούς στόχους, γενικά υποστηρίζεται ότι η ροή του νερού ψύξης είναι
Η πίεση νερού 20lpm είναι περίπου 5gmp. Για κεραμικούς στόχους, γενικά υποστηρίζεται ότι η ροή του νερού είναι 30 lpm και η πίεση του νερού είναι περίπου 9 gmp
6, Στόχος συντήρησης
Προκειμένου να αποφευχθεί το βραχυκύκλωμα και το σχηματισμό τόξου που προκαλούνται από ακάθαρτη κοιλότητα κατά τη διαδικασία εκτόξευσης, είναι απαραίτητο να αφαιρέσετε σταδιακά την εκτόξευση που έχει συσσωρευτεί στο κέντρο και στις δύο πλευρές της τροχιάς εκτόξευσης,
Αυτό βοηθά επίσης τους χρήστες να διασκορπίζουν συνεχώς σε υψηλή πυκνότητα ισχύος z
7, Αποθήκευση στόχου
Οι στόχοι που παρέχονται από το Gaozhan metal συσκευάζονται σε πλαστικές σακούλες κενού διπλής στρώσης. Υποστηρίζουμε ότι οι χρήστες διατηρούν τους στόχους, μεταλλικούς ή κεραμικούς, σε συσκευασία κενού. Ειδικότερα, οι στόχοι συγκόλλησης πρέπει να αποθηκεύονται υπό συνθήκες κενού για να αποτραπεί η οξείδωση του συνδετικού στρώματος να επηρεάσει την ποιότητα σύνδεσης. Όσον αφορά τη συσκευασία των μεταλλικών στόχων, υποστηρίζουμε ότι το Z πρέπει να συσκευάζεται σε καθαρές πλαστικές σακούλες
Ώρα δημοσίευσης: 13 Μαΐου 2022