Τα πυρίμαχα μέταλλα βολφραμίου και τα κράματα βολφραμίου έχουν τα πλεονεκτήματα της σταθερότητας σε υψηλή θερμοκρασία, της υψηλής αντοχής στη μετανάστευση ηλεκτρονίων και του υψηλού συντελεστή εκπομπής ηλεκτρονίων. Οι στόχοι υψηλής καθαρότητας βολφραμίου και κράματος βολφραμίου χρησιμοποιούνται κυρίως για την κατασκευή ηλεκτροδίων πύλης, καλωδίωσης σύνδεσης, στρωμάτων φραγμού διάχυσης ολοκληρωμένων κυκλωμάτων ημιαγωγών. Έχουν πολύ υψηλές απαιτήσεις σε καθαρότητα, περιεκτικότητα σε στοιχεία ακαθαρσίας, πυκνότητα, μέγεθος κόκκου και ομοιόμορφη δομή κόκκων υλικών. Ας ρίξουμε μια ματιά στους παράγοντες που επηρεάζουν την προετοιμασία του στόχου βολφραμίου υψηλής καθαρότηταςby Rich Special Material Co., Ltd.
I. Επίδραση της θερμοκρασίας πυροσυσσωμάτωσης
Η διαδικασία σχηματισμού του εμβρύου στόχου βολφραμίου γίνεται συνήθως με ψυχρή ισοστατική πίεση. Ο κόκκος βολφραμίου θα αναπτυχθεί κατά τη διάρκεια της πυροσυσσωμάτωσης. Η ανάπτυξη του κόκκου βολφραμίου θα γεμίσει το κενό μεταξύ των κρυσταλλικών ορίων, αυξάνοντας έτσι την πυκνότητα του στόχου βολφραμίου. Με την αύξηση των χρόνων πυροσυσσωμάτωσης, η αύξηση της πυκνότητας του στόχου βολφραμίου επιβραδύνεται σταδιακά. Ο κύριος λόγος είναι ότι η ποιότητα του υλικού στόχου βολφραμίου δεν έχει αλλάξει πολύ μετά από αρκετές διεργασίες πυροσυσσωμάτωσης. Επειδή τα περισσότερα από τα κενά στο όριο των κρυστάλλων γεμίζονται από κρυστάλλους βολφραμίου, ο συνολικός ρυθμός αλλαγής μεγέθους του στόχου βολφραμίου είναι πολύ μικρός μετά από κάθε διαδικασία πυροσυσσωμάτωσης, γεγονός που οδηγεί σε περιορισμένο χώρο για την αύξηση της πυκνότητας στόχου βολφραμίου. Καθώς προχωρά η πυροσυσσωμάτωση, μεγάλοι κόκκοι βολφραμίου γεμίζονται στα κενά, με αποτέλεσμα έναν πιο πυκνό στόχο με μικρότερο μέγεθος.
2. Επίδραση τουhώρα συντήρησης φαγητού
Στην ίδια θερμοκρασία πυροσυσσωμάτωσης, η συμπαγής ποσότητα του υλικού στόχου βολφραμίου βελτιώνεται με την αύξηση του χρόνου πυροσυσσωμάτωσης. Με την αύξηση του χρόνου πυροσυσσωμάτωσης, το μέγεθος των κόκκων βολφραμίου αυξάνεται και με την επέκταση του χρόνου πυροσυσσωμάτωσης, ο αυξητικός παράγοντας μεγέθους κόκκου επιβραδύνεται σταδιακά. Αυτό δείχνει ότι η αύξηση του χρόνου πυροσυσσωμάτωσης μπορεί επίσης να βελτιώσει την απόδοση του στόχου βολφραμίου.
3. Επίδραση της κύλισης στον στόχο Pαπόδοση
Προκειμένου να βελτιωθεί η πυκνότητα των υλικών-στόχων βολφραμίου και να ληφθεί η δομή επεξεργασίας των υλικών στόχου βολφραμίου, η έλαση μέσης θερμοκρασίας των υλικών στόχου βολφραμίου πρέπει να πραγματοποιηθεί κάτω από τη θερμοκρασία ανακρυστάλλωσης. Όταν η θερμοκρασία κύλισης του ακατέργαστου τεμαχίου στόχου είναι υψηλή, η δομή των ινών του ακατέργαστου τεμαχίου στόχου είναι παχύτερη, ενώ του ακατέργαστου προορισμού είναι λεπτότερη. Όταν η απόδοση θερμής έλασης είναι πάνω από 95%. Αν και η διαφορά στη δομή των ινών που προκαλείται από τη διαφορετική θερμοκρασία του αρχικού κόκκου ή της θερμοκρασίας έλασης πυροσυσσωμάτωσης θα εξαλειφθεί, θα σχηματιστεί πιο ομοιογενής δομή ινών στο εσωτερικό του στόχου, επομένως όσο υψηλότερος είναι ο ρυθμός επεξεργασίας της θερμής έλασης, τόσο καλύτερη είναι η απόδοση του στόχου.
Ώρα δημοσίευσης: Μάιος-05-2022