Λόγω της σταθερότητας υψηλής θερμοκρασίας, της υψηλής αντίστασης μετανάστευσης ηλεκτρονίων και του υψηλού συντελεστή εκπομπής ηλεκτρονίων πυρίμαχων κραμάτων βολφραμίου και βολφραμίου, οι στόχοι υψηλής καθαρότητας βολφραμίου και κράματος βολφραμίου χρησιμοποιούνται κυρίως για την κατασκευή ηλεκτροδίων πύλης, καλωδίωση σύνδεσης, στρώσεις φραγμού διάχυσης κ.λπ. ημιαγωγών ολοκληρωμένα κυκλώματα και έχουν υψηλές απαιτήσεις για την καθαρότητα, την περιεκτικότητα σε στοιχεία ακαθαρσίας, την πυκνότητα, μέγεθος κόκκου και ομοιομορφία δομής κόκκων των υλικών. Τώρα ας ρίξουμε μια ματιά στους παράγοντες που επηρεάζουν την προετοιμασία του στόχου βολφραμίου υψηλής καθαρότητας.
1, Επίδραση της θερμοκρασίας πυροσυσσωμάτωσης
Η διαδικασία σχηματισμού του εμβρύου στόχου βολφραμίου γίνεται γενικά με ψυχρή ισοστατική πίεση. Ο κόκκος βολφραμίου θα αναπτυχθεί κατά τη διαδικασία πυροσυσσωμάτωσης. Η ανάπτυξη του κόκκου βολφραμίου θα γεμίσει το κενό μεταξύ των ορίων των κόκκων, βελτιώνοντας έτσι την πυκνότητα του στόχου βολφραμίου. Με την αύξηση των χρόνων πυροσυσσωμάτωσης, η αύξηση της πυκνότητας στόχου βολφραμίου σταδιακά επιβραδύνεται. Ο κύριος λόγος είναι ότι μετά από πολλαπλή πυροσυσσωμάτωση, η ποιότητα του στόχου βολφραμίου δεν έχει αλλάξει πολύ. Επειδή τα περισσότερα από τα κενά στο όριο των κόκκων είναι γεμάτα με κρυστάλλους βολφραμίου, μετά από κάθε πυροσυσσωμάτωση, ο συνολικός ρυθμός αλλαγής μεγέθους του στόχου βολφραμίου ήταν πολύ μικρός, με αποτέλεσμα περιορισμένο χώρο για την αύξηση της πυκνότητας του στόχου βολφραμίου. Με τη διαδικασία πυροσυσσωμάτωσης, οι αναπτυσσόμενοι κόκκοι βολφραμίου γεμίζονται στα κενά, με αποτέλεσμα μεγαλύτερη πυκνότητα του στόχου με μικρότερο μέγεθος σωματιδίων.
2, Επίδραση του χρόνου διατήρησης
Στην ίδια θερμοκρασία πυροσυσσωμάτωσης, η συμπαγοποίηση του στόχου βολφραμίου θα βελτιωθεί με την παράταση του χρόνου διατήρησης της πυροσυσσωμάτωσης. Με την παράταση του χρόνου διατήρησης, το μέγεθος των κόκκων βολφραμίου θα αυξηθεί και με την παράταση του χρόνου διατήρησης, οι χρόνοι ανάπτυξης του μεγέθους κόκκου θα επιβραδυνθούν σταδιακά, πράγμα που σημαίνει ότι η αύξηση του χρόνου διατήρησης μπορεί επίσης να βελτιώσει την απόδοση του στόχος βολφραμίου.
3, Επίδραση της κύλισης στις ιδιότητες στόχου
Προκειμένου να βελτιωθεί η πυκνότητα του υλικού στόχου βολφραμίου και να ληφθεί η δομή επεξεργασίας του υλικού στόχου βολφραμίου, η έλαση μέσης θερμοκρασίας του υλικού στόχου βολφραμίου πρέπει να πραγματοποιηθεί κάτω από τη θερμοκρασία ανακρυστάλλωσης. Εάν η θερμοκρασία κύλισης του μπιλιέτας στόχου είναι υψηλή, η δομή των ινών του τεμαχίου στόχου θα είναι χονδροειδής και αντίστροφα. Όταν ο ρυθμός θερμής έλασης φτάσει πάνω από 95%. Αν και η διαφορά στη δομή των ινών που προκαλείται από διαφορετικούς αρχικούς κόκκους ή διαφορετικές θερμοκρασίες κύλισης θα εξαλειφθεί, η εσωτερική δομή του στόχου θα σχηματίσει μια σχετικά ομοιόμορφη δομή ινών, επομένως όσο υψηλότερος είναι ο ρυθμός επεξεργασίας της θερμής έλασης, τόσο καλύτερη είναι η απόδοση του στόχου
Ώρα δημοσίευσης: Φεβ-15-2023