Το πλήρες όνομα του PVD είναι φυσική εναπόθεση ατμού, η οποία είναι η συντομογραφία του αγγλικού (physical vapor deposition). Επί του παρόντος, το PVD περιλαμβάνει κυρίως επίστρωση εξάτμισης, επίστρωση διασκορπισμού μαγνητρόν, επίστρωση ιόντων πολλαπλών τόξων, εναπόθεση χημικών ατμών και άλλες μορφές. Σε γενικές γραμμές, το PVD ανήκει στον κλάδο της πράσινης περιβαλλοντικής προστασίας. Σε σύγκριση με άλλες βιομηχανίες, έχει μικρή ζημιά στο ανθρώπινο σώμα, αλλά δεν είναι χωρίς. Φυσικά, μπορεί να μειωθεί αποτελεσματικά ή και να εξαλειφθεί εντελώς. Σχετικά με τις προφυλάξεις επίστρωσης κενού διασκορπισμού μαγνητρόν PVD, μέσω της κοινής χρήσης από τον επεξεργαστή του RSM, μπορούμε να κατανοήσουμε με μεγαλύτερη ακρίβεια τις σχετικές επαγγελματικές γνώσεις.
Λάβετε υπόψη τα ακόλουθα σημεία σχετικά με την επίστρωση κενού ψεκασμού PVD magnetron:
1. Ακτινοβολία: ορισμένες επικαλύψεις πρέπει να χρησιμοποιούν τροφοδοτικό ραδιοσυχνοτήτων. Εάν η ισχύς είναι υψηλή, πρέπει να θωρακιστεί. Επιπλέον, σύμφωνα με τα ευρωπαϊκά πρότυπα, μεταλλικά σύρματα είναι ενσωματωμένα γύρω από το πλαίσιο της πόρτας της μηχανής επίστρωσης ενός δωματίου για την προστασία της ακτινοβολίας.
2. Μεταλλική ρύπανση: ορισμένα υλικά επικάλυψης (όπως χρώμιο, ίνδιο, αλουμίνιο) είναι επιβλαβή για το ανθρώπινο σώμα και πρέπει να δοθεί ιδιαίτερη προσοχή στη ρύπανση από σκόνη κατά τον καθαρισμό του θαλάμου κενού.
3. Ηχορύπανση: ειδικά για κάποιο μεγάλο εξοπλισμό επίστρωσης, η μηχανική αντλία κενού είναι πολύ θορυβώδης, επομένως η αντλία μπορεί να απομονωθεί έξω από τον τοίχο.
4. Φωτορύπανση: κατά τη διαδικασία επικάλυψης ιόντων, το αέριο ιονίζεται και εκπέμπει ισχυρό φως, το οποίο δεν είναι κατάλληλο να κοιτάξει μέσα από το παράθυρο παρατήρησης για μεγάλο χρονικό διάστημα.
Η γενική θερμοκρασία λειτουργίας του PVD magnetron sputtering coater είναι ελεγχόμενη μεταξύ 0~500!
Ώρα δημοσίευσης: Ιουλ-08-2022