Οι στόχοι διασκορπισμένου μολυβδαινίου έχουν χρησιμοποιηθεί ευρέως στη βιομηχανία ηλεκτρονικών, τα ηλιακά κύτταρα, την επίστρωση γυαλιού και άλλα πεδία λόγω των εγγενών πλεονεκτημάτων τους. Με την ταχεία ανάπτυξη της σύγχρονης τεχνολογίας στη σμίκρυνση, την ολοκλήρωση, την ψηφιοποίηση και την ευφυΐα, η χρήση στόχων μολυβδαινίου θα συνεχίσει να αυξάνεται και οι απαιτήσεις ποιότητας για αυτούς θα γίνονται επίσης όλο και πιο υψηλές. Πρέπει λοιπόν να βρούμε τρόπους για να βελτιώσουμε το ποσοστό χρησιμοποίησης των στόχων για το μολυβδαίνιο. Τώρα, ο συντάκτης του RSM θα εισαγάγει διάφορες μεθόδους για τη βελτίωση του ποσοστού χρησιμοποίησης των στόχων μολυβδαινίου για όλους
1. Προσθέστε ηλεκτρομαγνητικό πηνίο στην πίσω πλευρά
Προκειμένου να βελτιωθεί ο ρυθμός χρήσης του στόχου διασκορπισμένου μολυβδαινίου, μπορεί να προστεθεί ένα ηλεκτρομαγνητικό πηνίο στην πίσω πλευρά του επίπεδου στόχου μολυβδαινίου που διασκορπίζει Magnetron και το μαγνητικό πεδίο στην επιφάνεια του στόχου μολυβδαινίου μπορεί να αυξηθεί αυξάνοντας το ρεύμα το ηλεκτρομαγνητικό πηνίο, έτσι ώστε να βελτιωθεί ο ρυθμός χρήσης του στόχου μολυβδαινίου.
2. Επιλέξτε σωληνοειδές περιστρεφόμενο υλικό στόχου
Σε σύγκριση με επίπεδους στόχους, η επιλογή μιας σωληνοειδούς περιστρεφόμενης δομής στόχου υπογραμμίζει τα ουσιαστικά πλεονεκτήματά της. Γενικά, το ποσοστό χρήσης επίπεδων στόχων είναι μόνο 30% έως 50%, ενώ το ποσοστό χρήσης των σωληνοειδών περιστρεφόμενων στόχων μπορεί να φτάσει πάνω από 80%. Επιπλέον, όταν χρησιμοποιείτε τον περιστρεφόμενο κοίλο σωλήνα Magnetron sputtering target, καθώς ο στόχος μπορεί να περιστρέφεται γύρω από το συγκρότημα μαγνήτη σταθερής ράβδου όλη την ώρα, δεν θα υπάρχει επανααπόθεση στην επιφάνειά του, επομένως η διάρκεια ζωής του περιστρεφόμενου στόχου είναι γενικά περισσότερο από 5 φορές μεγαλύτερη από αυτόν του στόχου του αεροπλάνου.
3. Αντικαταστήστε με νέο εξοπλισμό ψεκασμού
Το κλειδί για τη βελτίωση του ποσοστού χρήσης των υλικών-στόχων είναι η ολοκλήρωση της αντικατάστασης του εξοπλισμού ψεκασμού. Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας εκτόξευσης του υλικού στόχου εκτόξευσης μολυβδαινίου, περίπου το ένα έκτο των ατόμων εκτόξευσης θα αποτεθεί στο τοίχωμα ή στη βάση του θαλάμου κενού αφού χτυπηθούν από ιόντα υδρογόνου, αυξάνοντας το κόστος καθαρισμού του εξοπλισμού κενού και το χρόνο διακοπής λειτουργίας. Έτσι, η αντικατάσταση του νέου εξοπλισμού εκτόξευσης μπορεί επίσης να συμβάλει στη βελτίωση του ποσοστού χρησιμοποίησης των στόχων μολυβδαινίου.
Ώρα δημοσίευσης: 24 Μαΐου 2023