Ρωγμές στους στόχους εκτόξευσης συνήθως συμβαίνουν σε κεραμικούς στόχους εκτόξευσης όπως οξείδια, καρβίδια, νιτρίδια και εύθραυστα υλικά όπως χρώμιο, αντιμόνιο, βισμούθιο. Τώρα αφήστε τους τεχνικούς εμπειρογνώμονες του RSM να εξηγήσουν γιατί ο στόχος εκτόξευσης σπάει και ποια προληπτικά μέτρα μπορούν να ληφθούν για να αποφευχθεί αυτή η κατάσταση.
Οι στόχοι κεραμικών ή εύθραυστων υλικών περιέχουν πάντα εγγενείς τάσεις. Αυτές οι εσωτερικές τάσεις δημιουργούνται στη στοχευόμενη διαδικασία κατασκευής. Επιπλέον, αυτές οι τάσεις δεν εξαλείφονται πλήρως με τη διαδικασία της ανόπτησης, επειδή είναι εγγενή χαρακτηριστικά αυτών των υλικών. Στη διαδικασία εκτόξευσης, ο βομβαρδισμός ιόντων αερίων μεταφέρει την ορμή τους στα άτομα-στόχους, παρέχοντάς τους αρκετή ενέργεια για να τα χωρίσει από το πλέγμα. Αυτή η εξώθερμη μεταφορά ορμής κάνει τη θερμοκρασία στόχο να αυξηθεί, η οποία μπορεί να φτάσει τους 1000000 ℃ σε ατομικό επίπεδο.
Αυτά τα θερμικά σοκ αυξάνουν την υπάρχουσα εσωτερική τάση στον στόχο σε πολλές φορές. Σε αυτή την περίπτωση, εάν η θερμότητα δεν διαχέεται σωστά, ο στόχος μπορεί να σπάσει. Προκειμένου να αποφευχθεί η ρωγμή του στόχου, πρέπει να δοθεί έμφαση στη διάχυση θερμότητας. Απαιτείται ένας μηχανισμός ψύξης νερού για την απομάκρυνση της ανεπιθύμητης θερμικής ενέργειας από τον στόχο. Ένα άλλο θέμα που πρέπει να εξεταστεί είναι η αύξηση της ισχύος. Η υπερβολική ισχύς που εφαρμόζεται σε σύντομο χρονικό διάστημα θα προκαλέσει επίσης θερμικό σοκ στον στόχο. Επιπλέον, προτείνουμε τη δέσμευση αυτών των στόχων στο πίσω επίπεδο, το οποίο μπορεί όχι μόνο να παρέχει υποστήριξη για τον στόχο, αλλά και να προάγει την καλύτερη ανταλλαγή θερμότητας μεταξύ του στόχου και του νερού. Εάν ο στόχος έχει ρωγμές αλλά είναι συνδεδεμένος με την πίσω πλάκα, μπορεί ακόμα να χρησιμοποιηθεί.
Η Rich Special Materials Co., Ltd. μπορεί να παράσχει στόχους sputtering με backplane. Μπορεί να προσαρμοστεί σύμφωνα με τις απαιτήσεις των πελατών για υλικό, πάχος και τύπο συγκόλλησης.
Ώρα δημοσίευσης: Σεπ-21-2022