Η Rich Special Material Co., Ltd. μπορεί να παράγει στόχους εκτόξευσης αλουμινίου υψηλής καθαρότητας, στόχους διασκορπισμού χαλκού, στόχους διασκορπισμού τανταλίου, στόχους εκτόξευσης τιτανίου κ.λπ. για τη βιομηχανία ημιαγωγών.
Τα τσιπ ημιαγωγών έχουν υψηλές τεχνικές απαιτήσεις και υψηλές τιμές για σκεπτικούς στόχους. Οι απαιτήσεις τους για την καθαρότητα και την τεχνολογία των στόχων κατάδυσης είναι υψηλότερες από αυτές των επίπεδων οθονών, των ηλιακών κυψελών και άλλων εφαρμογών. Τα τσιπ ημιαγωγών θέτουν εξαιρετικά αυστηρά πρότυπα για την καθαρότητα και την εσωτερική μικροδομή των στόχων εκτόξευσης. Εάν η περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες του στόχου εκτόξευσης είναι πολύ υψηλή, το φιλμ που σχηματίζεται δεν μπορεί να ικανοποιήσει τις απαιτούμενες ηλεκτρικές ιδιότητες. Κατά τη διαδικασία εκτόξευσης, είναι εύκολο να σχηματιστούν σωματίδια στη γκοφρέτα, με αποτέλεσμα να προκληθεί ζημιά σε βραχυκύκλωμα ή κύκλωμα, που επηρεάζει σοβαρά την απόδοση της μεμβράνης. Σε γενικές γραμμές, απαιτείται ο υψηλότερος στόχος εκτόξευσης καθαρότητας για την κατασκευή τσιπ, ο οποίος είναι συνήθως 99,9995% (5N5) ή υψηλότερος.
Οι στόχοι εκτόξευσης χρησιμοποιούνται για την κατασκευή στρωμάτων φραγμού και τη συσκευασία μεταλλικών στρωμάτων καλωδίωσης. Στη διαδικασία κατασκευής γκοφρέτας, ο στόχος χρησιμοποιείται κυρίως για την κατασκευή του αγώγιμου στρώματος, του στρώματος φραγμού και του μεταλλικού πλέγματος της γκοφρέτας. Στη διαδικασία συσκευασίας τσιπ, ο στόχος εκτόξευσης χρησιμοποιείται για τη δημιουργία μεταλλικών στρωμάτων, στρωμάτων καλωδίωσης και άλλων μεταλλικών υλικών κάτω από τα χτυπήματα. Αν και η ποσότητα των υλικών-στόχων που χρησιμοποιούνται στην κατασκευή γκοφρέτας και στη συσκευασία τσιπ είναι μικρή, σύμφωνα με τα στατιστικά στοιχεία SEMI, το κόστος των υλικών-στόχων στην κατασκευή και τη διαδικασία συσκευασίας της γκοφρέτας ανέρχεται περίπου στο 3%. Ωστόσο, η ποιότητα του στόχου εκτόξευσης επηρεάζει άμεσα την ομοιομορφία και την απόδοση του αγώγιμου στρώματος και του στρώματος φραγμού, επηρεάζοντας έτσι την ταχύτητα μετάδοσης και τη σταθερότητα του τσιπ. Ως εκ τούτου, ο στόχος εκτόξευσης είναι μία από τις βασικές πρώτες ύλες για την παραγωγή ημιαγωγών
Ώρα δημοσίευσης: Νοε-16-2022