Τεχνικός σύμβουλος της RSM θα μοιραστεί μαζί σας τα πλεονεκτήματα των κυλινδρικών και επίπεδων στόχων διασκορπισμού μαγνητρόν; Σε σύγκριση με άλλους στόχους διασκορπισμού μαγνητρόν, οι κυλινδρικοί και επίπεδοι στόχοι διασκορπισμού μαγνητρόν διατηρούν τα πλεονεκτήματα της καλής ομοιομορφίας επίστρωσης των ορθογώνιων επίπεδων στόχων και μπορούν να μεγιστοποιήσουν τη χρήση των στόχων με τους ακόλουθους δύο τρόπους:
(1) Όταν οι δύο ομάδες (τέσσερις) δακτυλιοειδών κοιλωμάτων στην επιφάνεια του στόχου φτάσουν σε ένα ορισμένο βάθος, ο πυρήνας στόχος (τμήμα μαγνήτη) μπορεί να περιστραφεί 45 ° σε σχέση με τον σωλήνα στόχο, έτσι ώστε άλλες περιοχές στον σωλήνα στόχο που δεν έχουν διαβρωθεί μπορούν να χρησιμοποιηθούν.
(2) Όταν ο πυρήνας στόχος του κυλινδρικού και επίπεδου στόχου ψεκασμού μαγνητρονίου έχει σχεδιαστεί ως περιστρεφόμενος πυρήνας στόχου (ο πυρήνας στόχος περιστρέφεται κατά τη διάρκεια της εκτόξευσης), η επιφάνεια του στόχου μπορεί να διασκορπιστεί ομοιόμορφα από στρώμα προς στρώμα χωρίς κοιλώματα. Αυτή τη στιγμή, ο στόχος θα χρησιμοποιηθεί πιο αποτελεσματικά και το ποσοστό χρήσης του στόχου μπορεί να φτάσει το 50% ~ 60% Όταν το υλικό στόχος είναι πολύτιμο μέταλλο, αυτό είναι προφανώς μεγάλης σημασίας.
Χρησιμοποιώντας την αρχή του μαγνήτη με πέλμα στον ομοαξονικό κυλινδρικό στόχο διασκορπισμού μαγνητρόν για την επίλυση του προβλήματος του τελικού μαγνητικού πεδίου, ο ορθογώνιος επίπεδος στόχος μπορεί να μετατραπεί σε κυλινδρικό και επίπεδο στόχο διασκορπισμού μαγνητρόν, ο στόχος μπορεί να μεγιστοποιήσει το ρυθμό χρήσης του στόχου διατηρώντας την καλή ομοιομορφία επίστρωσης του ορθογώνιου επιπέδου στόχου έτσι ώστε να βελτιωθούν τα οικονομικά οφέλη.
Ώρα δημοσίευσης: Ιουλ-04-2022