Unter Metallziel versteht man das vorgesehene Material aus energietragenden Hochgeschwindigkeitspartikeln, die auftreffen. Darüber hinaus können durch den Austausch verschiedener Targetmaterialien (z. B. Aluminium, Kupfer, Edelstahl, Titan, Nickeltargets usw.) unterschiedliche Filmsysteme (z. B. superharte, verschleißfeste, korrosionsbeständige Legierungsfilme usw.) entstehen erhalten. Mit der Entwicklung der Zeit sind in der großen Familie viele neue Materialtargets als neue Mitglieder aufgetaucht, die Titan-Aluminium-Legierungstargets willkommen heißen.
Das Titan-Aluminium-Legierungs-Target ist ein Target, das aus einer Titan-Aluminium-Legierung als Rohmaterial besteht. Im Allgemeinen silberweiß, hat es die Vorteile einer hohen Festigkeit und eines hohen Schmelzpunkts. Was ist also die Praxis von Titan-Aluminium-Legierungszielen?
Bisher haben große internationale Hersteller diese beiden Methoden zur Herstellung von Targets aus Titan-Aluminium-Legierungen übernommen. Eine besteht darin, das Gussverfahren zur Herstellung des Barrens zu verwenden und dann während des Gussprozesses das Target herzustellen. Das andere besteht aus sprühgeformten Targets aus einer Titan-Aluminium-Legierung.
Das für diese Methode bekannte Guss- und Gießverfahren besteht darin, dass bei der Herstellung von Sputtertargets aus Aluminiumlegierung aufgrund des wichtigen Prozesses der häufigen Zugabe von Legierungen eine Entmischung im Aluminiumlegierungs-Targetmaterial auftritt und die Qualität des erhaltenen Films dadurch beeinträchtigt wird Das Sputtern ist nicht hoch. , ist die Oberfläche des Sputtertargets anfällig für winzige Partikel, die die Gleichmäßigkeit der Filmeigenschaften beeinträchtigen. Das durch das zweite Sprühformungsverfahren hergestellte Target aus einer Titan-Aluminium-Legierung kann die obige Situation verhindern, aber die Herstellungskosten des Targets werden erheblich steigen.
Insbesondere bei der Herstellung schwer zu gießender Objekte ist die Verwendung eines heißen Ausgleichsdruckziels erforderlich, und die Kosten steigen aufgrund der Verwendung des heißen Ausgleichsdrucks.
Zusätzlich zu den beiden oben genannten traditionellen Methoden für Targets aus Titan-Aluminium-Legierungen wird heute eine einfache und kostengünstige Methode eingeführt. Herstellung von Targets aus einer Titan-Aluminium-Legierung mit Sprühpulver.
Im Folgenden wird Ihnen der Herausgeber von Beijing Ruichi die Herstellungsmethode für Ziele aus Titan-Aluminium-Legierung vorstellen.
1. Das erste Prinzip
Das Hauptprinzip dieser Methode besteht darin, die Aerosolmethode zur Herstellung des Rohmaterialpulvers des Targets mit dem Legierungszusammensetzungsverhältnis zu verwenden. Anschließend wird das Legierungspulver gesiebt, um die richtige Pulverpartikelgröße zu erhalten. Das erhaltene Pulver wird dann zum Vakuum-Heißpressen verwendet, um ein Target zu formen.
2. Hauptvorteil
Der Vorteil dieser Herstellungsmethode besteht darin, dass damit verschiedene Ziele aus Aluminiumlegierungen wie Aluminium und Chrom hergestellt werden können. Aluminium, Silizium, Kupfer, Aluminium, Titan usw. Zweitens kann dieser Ansatz Materialentmischung und Mikropartikeldefekte verhindern, was zu einer schnelleren und wirtschaftlicheren Herstellung hochwertiger Titan-Aluminium-Legierungstargets führt.
3. Implementierungsprozess
Der korrekte Umsetzungsprozess dieser Methode besteht darin, zunächst Metallrohstoffe für die Herstellung von Aluminiumlegierungszielen bereitzustellen. Diese Metallrohstoffe werden dann in einer Metalllösung geschmolzen. Anschließend wird die Metalllösung durch Aerosol in Metallpulver umgewandelt. Anschließend wird das Metallpulver-Target durch Vakuum-Heißpressen geformt und ein Inertgas als Schutzgas verwendet.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 27. April 2022