Mit der Entwicklung der Industrietechnologie wird auch die Qualität der für die industrielle Produktion erforderlichen Targets immer höher, da sich die Qualität der Targets direkt auf die Leistung von Magnetron-Sputterfilmen auswirkt.Heutzutage bevorzugen Unternehmen beim Kauf von Targets im Allgemeinen die Verwendung von Targets mit hoher Dichte und einheitlicher Zusammensetzungsstruktur für die Sputterbeschichtung, um das mehrfache Zusammenfügen von Targets zu reduzieren und die Qualität der Sputterbeschichtungen zu verbessern. Daher ist vom Hersteller des Targets eine strikte Einhaltung erforderlich Kontrollieren Sie die Qualität des Ziels. Jetzt lassen Sie den Herausgeber von PekingRichmatSie verstehen, welche Faktoren die Qualität des Ziels beeinflussen.
1、Der Einfluss von Prozessparametern auf die Qualität des Targets
Zu den Prozessparametern gehören hauptsächlich Kaltpressdruck, Druckbeaufschlagungsgeschwindigkeit und Entformungsgeschwindigkeit sowie andere Parameter.Beim Kaltpressen der Zielscheibe wirkt sich der Druck direkt auf die Qualität des Zielscheibenrohlings aus;Die Geschwindigkeit der Druckbeaufschlagung hat einen großen Einfluss auf die Schichtung des Zielrohlings. Der Ausgangszustand, wenn das Pulver gleichmäßig in die Negativform eingefüllt wird, ist ein lockerer Zustand mit vielen Poren und Gasen, und die Entladung der Gase dauert eine Zeitspanne von Zeit.
2、DerEinfluss von Schimmel auf die Zielqualität
Auch die Form hat einen gewissen Einfluss auf die Formgebung des Zielrohlings. Zu den Haupteinflussfaktoren gehören die Oberflächenbeschaffenheit der Innenseite der Form, der Spalt zwischen Stempel und Formhohlraum usw. Wenn der Spalt zu groß ist, kommt es zu Pulveraustritt und Pulveraustritt, wodurch die Grenzdichte beeinträchtigt wird der Rohling ist niedrig und es kommt zu Qualitätsproblemen wie z. B. Kantenabfall beim Entformen.
3、Der Einfluss des Materialfeuchtigkeitsgehalts auf die Qualität des Ziels
Die im Pulver des Zielmaterials enthaltene Feuchtigkeit entspricht der Wirkung des Schmiermittels, und seine Anwesenheit kann die Reibung zwischen den Partikeln verringern, was der effektiven Übertragung des Kaltpressdrucks förderlich ist und auch zu einem reibungslosen Gleiten beiträgt Umlagerung zwischen den Pulverpartikeln.Wenn der Wassergehalt jedoch zu gering oder zu hoch ist, beeinträchtigt dies die Qualität des Ziels.
Wenn der Wassergehalt im ITO-Pulver weniger als 2 % beträgt, erhöht sich die Wahrscheinlichkeit von Qualitätsproblemen wie Kantenverlust und Delaminierung des Zielmaterials erheblich, wenn andere Bedingungen wie Kaltpressdruck und Bindemittelgehalt gleich sind. Wenn das Wasser Der Gehalt im ITO-Pulver beträgt mehr als 10 %. Bei gleichem Kaltpressdruck, gleichem Bindemittelgehalt und anderen Bedingungen rutschen die Pulverpartikel zwar leichter ab und ordnen sich leichter neu, es tritt jedoch Wasser aus dem Inneren der Form aus, was das Problem des Herunterfallens verursacht Kanten um den Rohling des Zielmaterial.Die Ergebnisse zeigen, dass die Qualität des Rohlings wirksam kontrolliert werden kann, wenn der Wassergehalt des Pulvers zwischen 3 % und 6 % liegt.
4、Einfluss des Bindemittelgehalts auf die Zielqualität
Die Menge des eingearbeiteten Bindemittels hat großen Einfluss auf die Qualität des Targetmaterials. Wenn die Einarbeitungsmenge weniger als 1 % beträgt, weist der Zielrohling ein sehr ernstes Qualitätsproblem auf. Zu diesem Zeitpunkt zeigt sich die Wirkung des Bindemittels nicht und es hat nur geringe Auswirkungen auf die Verbesserung der Festigkeit des Zielrohlings.Mit Durch die Erhöhung des Bindemitteleinbaus auf 2 % und 3 % wird die Festigkeit des Targetmaterials erhöht und das Qualitätsproblem des Targetmaterials erheblich verringert. Bei einem Bindemittelanteil von 4 % verschwindet zwar das Qualitätsproblem des kaltgepressten Rohlings des Targetmaterials, beim anschließenden Entformungsprozess kommt es jedoch gelegentlich zu einer Delaminierung des Targetmaterials.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 22.04.2022