Welche detaillierten Kenntnisse gibt es über den Produktionsprozess von Targets aus Titan-Aluminium-Legierungen?

Derzeit gibt es bei den weltweit größten Herstellern von Spritzzielen zwei verschiedene Methoden zur Herstellung von Spritzzielen aus Aluminiumlegierung. Eine besteht darin, die Gussmethode zur Herstellung des Barrens zu wählen und dann den Gussprozess durchzuführen. Der andere wird durch Spritzgießen hergestellt. Lassen Sie sich vom Pekinger Redakteur darüber informieren, was der gesunde Menschenverstand über den Herstellungsprozess von Titan-Aluminium-Legierungen anstrebt.

Was die bekannten Guss-/Gussverfahren betrifft, so ist bei der Herstellung des Sputtertargets aus Aluminiumlegierung das Sputtertarget aus Aluminiumlegierung häufig einer Entmischung aufgrund der Zugabe von Legierungselementen ausgesetzt, was zu einer schlechten Qualität des gesputterten Films und zu Mikropartikeln führt können leicht auf der Oberfläche des Sputtertargets auftreten, was sich auch auf die Gleichmäßigkeit der Filmeigenschaften auswirkt. Wenn jedoch das bekannte Sprühformungsverfahren zur Herstellung des Sputtertargets aus Aluminiumlegierung verwendet wird, können die oben genannten damit verbundenen Mängel auftreten verhindert werden, werden die Herstellungskosten des Sputtertargets erheblich verbessert, insbesondere wenn einige Sputtertargets hergestellt werden, die nicht einfach zu gießen sind und heißgepresst werden müssen, werden die Kosten durch die Verwendung von Heißpressen verbessert.

Um den Herstellungsprozess von Titan-Aluminium-Legierungstargets einfacher und kostengünstiger zu gestalten, wird hier ein Verfahren zur Herstellung von Aluminiumlegierungs-Sputtertargets mit Luftsprühpulver vorgestellt. Sein Prinzip besteht darin, dass ein Materialpulver für ein Sputtertarget durch ein Luftsprühverfahren entsprechend dem Legierungszusammensetzungsverhältnis hergestellt wird und dann das Legierungspulver gesiebt wird, um die geeignete Pulverpartikelgröße zu erhalten. Abschließend wird das Pulver vakuumheiß gepresst, um ein Sputtertarget aus einer Aluminiumlegierung herzustellen.

Dieses Verfahren zur Herstellung von Spritzzielen aus Aluminiumlegierungen mit Luftsprühpulver kann zur Herstellung verschiedener Spritzziele aus Aluminiumlegierungen (Aluminium-Chrom, Aluminium-Silizium-Kupfer, Aluminium-Titan usw.) verwendet werden. Die bevorzugten Umsetzungsschritte sind: Bereitstellung von Metallmaterialien für die Herstellung von Spritzzielen aus Aluminiumlegierung und deren Einschmelzen zu einer Metallschmelze. Anschließend wird das geschmolzene Metall durch ein Luftsprühverfahren zu Metallpulver verarbeitet. Schließlich wird das Metallpulver durch Vakuum-Heißpressen geformt, um ein Sputtertarget aus einer Aluminiumlegierung herzustellen, und Inertgas wird als Wartungsgas eingeführt. Mit dieser Methode können Datentrennung und Mikropartikeldefekte verhindert und hochwertige Sputtertargets schneller und kostengünstiger hergestellt werden.