Das Sputter-Target aus einer Titanlegierung und das Titanmetall bestehen aus Titan, daher sind die Informationen ungefähr gleich, der Unterschied zwischen den beiden liegt jedoch hauptsächlich darin, dass das Sputter-Target aus einer Titanlegierung auf verschiedene Weise aus Titanmetall hergestellt wird und Titan in der Natur als a Titanerz.Titanlegierungsziele können in vielen Berufskategorien weit verbreitet sein. Nun hat der Autor von Beijing Richmat mehrere gängige Titanlegierungsziele im Hinblick auf die Verwendung der Situation zusammengefasst, um uns eine detaillierte Einführung zu geben.
一、Ti-Targets für integrierte Schaltkreise
Die Anforderungen für das Sputtern von Titanlegierungs-Targets unterscheiden sich zwischen nicht integrierten Schaltkreisen und integrierten Schaltkreisen. Im Allgemeinen stellen integrierte Schaltkreise höhere Anforderungen an die Beschichtungsdaten, wie z. B. höhere Reinheit, kleinere Korngröße und genauere Skalengenauigkeit. Die Reinheit von Titantargets in integrierten Schaltkreisen liegt über 99,995 %, was höher ist als die in nicht integrierten Schaltkreisen verwendete Dies weist darauf hin, dass die Anforderungen an Titan-Targets bei unterschiedlichen Verwendungszwecken sehr unterschiedlich sind.
二、Ti-Ziel für Flachbildschirme
Zu den Titanlegierungszielen, die in Flachbildschirmen verwendet werden, gehören Flüssigkristallanzeigen, Plasmaanzeigen, Elektrolumineszenzanzeigen und Feldemissionsanzeigen. Der Dünnfilm von Flachbildschirmen wird durch Sputtern hergestellt. Al, Cu, Ti und Mo sind die primären Metall-Sputtertargets für Flachbildschirme Displays. Die Reinheit von Titanlegierungs-Targets für Flachbildschirme liegt normalerweise über 99,9 %.
三、Ti-Ziele für dekorative Materialien
Das Zielmaterial aus hochreiner Titanlegierung weist eine hervorragende Luftkorrosionsbeständigkeit auf. Bei langfristiger Verwendung in der Luft ändert sich die Farbe nicht, um sicherzustellen, dass die ursprüngliche Farbe von Titan erhalten bleibt und bei menschlichem Kontakt keine Allergien und andere hervorragende Eigenschaften auftreten. Daher kann hochreines Titan in den letzten Jahren auch als Dekorationsmaterial verwendet werden, beispielsweise für Armbänder, Uhren, Brillen und andere Schmuckstücke, wobei der Reinheitsgrad des Titans den 5N-Wert erreicht hat.
四、Ti-Targets für Ultrahochvakuum-Pumpsysteme
Als chemisch aktives Metall kann Titan bei hohen Temperaturen mit vielen Elementen und Verbindungen reagieren. Das Target aus hochreiner Titanlegierung hat eine starke Adsorptionskapazität für aktive Gase (wie O2, N2, CO, CO2, Wasserdampf über 650 °C), und der an der Pumpenwand verdampfende Ti-Film kann eine Oberfläche mit hoher Adsorptionsleistung bilden . Aufgrund dieser Eigenschaft wird Ti häufig als Getter in Ultrahochvakuum-Gasextraktionssystemen verwendet. Wenn es zur Verbesserung der Pumpe, der Sputter-Ionenpumpe usw. verwendet wird, kann der maximale Betriebsdruck der Sputter-Ionenpumpe auf nur 10-9 PA gesenkt werden
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 25. April 2022