Refraktäre Wolframmetalle und Wolframlegierungen haben die Vorteile einer hohen Temperaturstabilität, einer hohen Beständigkeit gegen Elektronenmigration und eines hohen Elektronenemissionskoeffizienten. Hochreine Wolfram- und Wolframlegierungs-Targets werden hauptsächlich zur Herstellung von Gate-Elektroden, Verbindungsleitungen und Diffusionsbarriereschichten von integrierten Halbleiterschaltkreisen verwendet. Sie stellen sehr hohe Anforderungen an Reinheit, Gehalt an Verunreinigungselementen, Dichte, Korngröße und gleichmäßige Kornstruktur der Materialien. Werfen wir einen Blick auf die Faktoren, die die Herstellung hochreiner Wolframtargets beeinflussenby Rich Special Material Co.,Ltd.
I. Einfluss der Sintertemperatur
Der Bildungsprozess des Wolfram-Zielembryos erfolgt normalerweise durch kalten isostatischen Druck. Beim Sintern wächst das Wolframkorn heran. Das Wachstum der Wolframkörner füllt die Lücke zwischen den Kristallgrenzen und erhöht so die Dichte des Wolframziels. Mit zunehmender Sinterzeit verlangsamt sich der Dichteanstieg des Wolframtargets allmählich. Der Hauptgrund liegt darin, dass sich die Qualität des Wolfram-Targetmaterials nach mehreren Sinterprozessen kaum verändert hat. Da die meisten Hohlräume in der Kristallgrenze durch Wolframkristalle gefüllt sind, ist die Gesamtgrößenänderungsrate des Wolfram-Targets nach jedem Sintervorgang sehr gering, was dazu führt, dass nur begrenzter Raum für die Erhöhung der Dichte des Wolfram-Targets vorhanden ist. Mit fortschreitendem Sintern werden große Wolframkörner in die Hohlräume gefüllt, was zu einem dichteren Target mit kleinerer Größe führt.
2. Wirkung vonhEssen Sie Konservierungszeit
Bei gleicher Sintertemperatur wird die Kompaktheit des Wolfram-Targetmaterials mit zunehmender Sinterzeit verbessert. Mit zunehmender Sinterzeit nimmt die Wolframkorngröße zu, und mit zunehmender Sinterzeit verlangsamt sich der Korngrößenwachstumsfaktor allmählich. Dies zeigt, dass eine Verlängerung der Sinterzeit auch die Leistung des Wolframtargets verbessern kann.
3. Auswirkung des Rollens auf Ziel PLeistung
Um die Dichte von Wolfram-Targetmaterialien zu verbessern und die Verarbeitungsstruktur von Wolfram-Targetmaterialien zu erhalten, muss das Walzen von Wolfram-Targetmaterialien bei mittlerer Temperatur unterhalb der Rekristallisationstemperatur durchgeführt werden. Wenn die Walztemperatur des Zielrohlings hoch ist, ist die Faserstruktur des Zielrohlings dicker, wohingegen die des Zielrohlings feiner ist. Wenn die Warmwalzausbeute über 95 % liegt. Obwohl der Unterschied in der Faserstruktur, der durch unterschiedliche ursprüngliche Sinterkörnung oder Walztemperatur verursacht wird, beseitigt wird, bildet sich im Inneren des Targets eine homogenere Faserstruktur. Je höher also die Verarbeitungsgeschwindigkeit beim Warmwalzen, desto besser ist die Leistung des Targets.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 05.05.2022