RSM weist auf Dinge hin, die beim Kauf von Zielmaterialien beachtet werden müssen

Viele Anwender betrachten den Kauf von Zielscheiben nicht aus professioneller Sicht. Worauf sollte man beim Kauf von Zielscheiben achten? Bitten wir den Xiaobian von Beijing Ruichi, auf die Dinge hinzuweisen, die beim Kauf von Zielen beachtet werden müssen.

Erstens ist für das Target die Reinheit einer seiner wichtigsten Funktionsindikatoren, und die Reinheit des Targets hat großen Einfluss auf die Funktion des späteren Produktfilms. Jedes Produkt stellt auch unterschiedliche Anforderungen an die Reinheit des Ziels.

Zweitens der Verunreinigungsgehalt einzelner Elemente im Target. Nach einer Reihe von Targetverarbeitungen sind die Verunreinigungen im Targetfeststoff sowie der Sauerstoff und Wasserdampf in den Poren die Hauptverschmutzungsquellen der abgeschiedenen Filme. Aufgrund der unterschiedlichen Verwendungszwecke von Targets sind auch die Anforderungen an unterschiedliche Verunreinigungsgehalte von Targets mit unterschiedlichen Verwendungszwecken unterschiedlich. Beispielsweise stellen Targets aus reinem Aluminium und Aluminiumlegierungen, die in der Halbleiterindustrie verwendet werden, heute besondere Anforderungen an den Gehalt an Alkalimetallen und radioaktiven Elementen.

Die Dichte ist auch einer der wichtigen Leistungsindikatoren des Targets. Im technischen Prozess des Targets ist im Allgemeinen eine hohe Dichte des Targets erforderlich, um die Poren im Targetfeststoff zu reduzieren und die Funktion des gesputterten Films zu verbessern. Die Hauptcharakteristikdichte des Targets hat großen Einfluss auf die Sputterrate und beeinflusst die elektrischen und optischen Funktionen des Films. Je höher die Zieldichte, desto besser ist die Funktion des Films.

Abschließend noch die Korngröße und Kornverteilung. Normalerweise ist das Zielmaterial polykristallin und die Korngröße kann im Mikrometer- bis Millimeterbereich liegen. Bei demselben Target ist die Sputterrate des feinkörnigen Targets höher als die des grobkörnigen Targets; Die Dicke der durch Targetsputtern abgeschiedenen Filme mit geringem Korngrößenunterschied (gleichmäßige Dispersion) ist gleichmäßiger.