Rich Special Materials Co., LTD teilt mit, welche Leistungsanforderungen an das Zielmaterial gestellt werden

Der breite Einsatz von Zielmaterial in verschiedenen Berufen lässt die Nachfrage nach Zielmaterial immer höher werden. Die folgende Das werden wir kurz vorstellen Du Was sind die primären funktionalen Anforderungen des Ziels, Hop?ing um Ihnen zu helfen.

Reinheit: Reinheit ist einer der wichtigsten Funktionsindikatoren des Ziels, da die Reinheit des Ziels einen großen Einfluss auf die Funktion des Films hat. In der Praxis ist die Reinheit des Zielmaterials jedoch nicht dieselbe. Mit dem rasanten Wachstum des Mikroelektronikberufs hat sich beispielsweise die Größe von Siliziumwafern von 6 Zoll, 8 Zoll auf 12 Zoll entwickelt, und die Verdrahtungsbreite ist von 0,5 µm auf 0,25 µm, 0,18 µm und sogar 0,13 µm gesunken. Sobald 99,995 % der Zielreinheit erreicht sind, können die technologischen Anforderungen von 0,35 UMIC erfüllt werden. Die Herstellung einer 0,18-um-Linie erfordert eine Reinheit des Zielmaterials von 99,999 % oder sogar 99,9999 %.

Dichte: Um die Porosität im Targetfestkörper zu verringern und die Funktion des Sputterfilms zu verbessern, muss das Target normalerweise eine hohe Dichte aufweisen. Die Targetdichte beeinflusst nicht nur die Sputterrate, sondern auch die elektrischen und optischen Eigenschaften der Filme. Je höher die Targetdichte, desto besser ist die Funktion der Folie. Darüber hinaus wurden Dichte und Festigkeit des Targetmaterials erhöht, um es der thermischen Belastung beim Sputtern besser standzuhalten. Auch die Dichte ist einer der wichtigen Funktionsindikatoren von Zielsubstanzen.

　　Verunreinigungsgehalt: Verunreinigungen im Zielfeststoff sowie Sauerstoff und Wasserdampf in den Poren sind die Hauptverschmutzungsquellen der angesammelten Filme. Unterschiedliche Zielmaterialien für unterschiedliche Zwecke stellen unterschiedliche Anforderungen an unterschiedliche Verunreinigungsgehalte. Beispielsweise stellen Targets aus reinem Aluminium und Aluminiumlegierungen, die in der Halbleiterindustrie verwendet werden, besondere Anforderungen an den Alkalimetallgehalt und den Gehalt an radioaktiven Elementen.