Dünnschichttransistor-Flüssigkristallanzeigetafeln sind derzeit die gängige Flachbildschirmtechnologie, und Sputtertargets aus Metall sind eines der kritischsten Materialien im Herstellungsprozess. Derzeit ist die Nachfrage nach Metall-Sputtertargets, die in gängigen Produktionslinien für LCD-Panels in China verwendet werden, bei vier Targettypen am höchsten: Aluminium, Kupfer, Molybdän und Molybdän-Niob-Legierung. Lassen Sie mich die Marktnachfrage nach Metall-Sputtertargets in der Flachbildschirmindustrie vorstellen.
1、 Aluminiumziel
Derzeit werden Aluminiumtargets, die in der heimischen Flüssigkristalldisplay-Industrie verwendet werden, hauptsächlich von japanischen Unternehmen dominiert.
2、 Kupferziel
Im Hinblick auf den Entwicklungstrend der Sputtertechnologie ist der Anteil der Nachfrage nach Kupfertargets allmählich gestiegen. Darüber hinaus ist in den letzten Jahren die Marktgröße der heimischen Flüssigkristalldisplay-Industrie kontinuierlich gewachsen. Daher wird die Nachfrage nach Kupfertargets in der Flachbildschirmindustrie weiterhin einen Aufwärtstrend aufweisen.
3、 Molybdän-Target mit großer Reichweite
In Bezug auf ausländische Unternehmen: Ausländische Unternehmen wie Panshi und Shitaike monopolisieren grundsätzlich den gesamten inländischen Molybdän-Zielmarkt. Im Inland hergestellt: Seit Ende 2018 werden in der Produktion von Flüssigkristallanzeigetafeln im Inland hergestellte Breitband-Molybdän-Targets eingesetzt.
4、 Molybdän-Niob-10-Legierungstarget
Die Molybdän-Niob-10-Legierung als wichtiges Ersatzmaterial für Molybdän-Aluminium-Molybdän in der Diffusionsbarriereschicht von Dünnschichttransistoren hat eine vielversprechende Aussicht auf Marktnachfrage. Aufgrund des erheblichen Unterschieds im gegenseitigen Diffusionskoeffizienten zwischen Molybdän- und Niobatomen bilden sich jedoch nach dem Hochtemperatursintern große Poren an der Stelle der Niobpartikel, was es schwierig macht, die Sinterdichte zu verbessern. Darüber hinaus kommt es nach der vollständigen Diffusion der Molybdän- und Niobatome zu einer starken Festlösungsverfestigung, was zu einer Verschlechterung ihrer Walzleistung führt. Nach mehreren Experimenten und Durchbrüchen wurde es jedoch 2017 erfolgreich mit einem Sauerstoffgehalt von weniger als 1000 × einem Zielbarren aus einer Mo-Nb-Legierung mit einer Dichte von 99,3 % eingeführt.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 18. Mai 2023