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Sputtertarget aus FeCrAl-Legierung + Cu-Rückwandplatine

Grundlegende Einführung des Ziels aus einer Eisen-Chrom-Aluminium-Legierung:

Das Ziel einer Eisen-Chrom-Aluminium-Legierung ist eine Art Legierungsmaterial, das aus Eisen, Chrom und Aluminium besteht. Unter ihnen ist Eisen das Grundmetall, Chrom ist das Legierungsverstärkungselement und Aluminium hat die Rolle der Stabilisierung. Aufgrund seiner hohen Festigkeit, Hochtemperaturstabilität, Korrosionsbeständigkeit und anderen hervorragenden Eigenschaften.

Die Eigenschaften der Eisen-Chrom-Aluminium-Legierung:

1.Hohe Festigkeit: Ferrochrom-Aluminiumlegierung hat eine hohe Festigkeit, ihre Festigkeit ist höher als bei gewöhnlichem Stahl und kann eine Vielzahl von hohen Festigkeitsanforderungen der technischen Anforderungen erfüllen.
2. Stabilität bei hohen Temperaturen: Ferrochrom-Aluminiumlegierungen weisen auch bei hohen Temperaturen eine gute Festigkeit und Stabilität auf und können für Geräte und Werkzeuge in Umgebungen mit hohen Temperaturen verwendet werden.
3. Korrosionsbeständigkeit: Nach der Behandlung der Oberfläche der Ferrochrom-Aluminiumlegierung können Ermüdung, Rissbildung und andere durch Korrosion verursachte Probleme verhindert werden, was für maritime, chemische und andere Umgebungen geeignet ist.
4. Gute Bearbeitbarkeit: Die Fe-Cr-Aluminiumlegierung weist eine gute Bearbeitbarkeit auf und kann für Guss-, Schmiede-, Kunststoffextrusions- und andere Prozesse verwendet werden.

FeCrAl

Anwendung der Eisen-Chrom-Aluminium-Legierung:

Aufgrund ihrer hervorragenden physikalischen und chemischen Eigenschaften wird die FeCrAl-Legierung häufig in der Luft- und Raumfahrt, der Automobilindustrie, der Chemie und anderen Bereichen eingesetzt. Sein Anwendungsbereich umfasst mehrere Aspekte:

1. Luft- und Raumfahrt: Aufgrund ihrer hohen Festigkeit, Hochtemperaturstabilität, Korrosionsbeständigkeit und anderer Eigenschaften wird Ferrochrom-Aluminiumlegierung häufig im Luft- und Raumfahrtbereich für Herstellung und Wartung verwendet.

2. Automobilbereich: Ferrochrom-Aluminiumlegierungen werden häufig bei der Herstellung von Automobilmotoren, Bremsen, Gehäusen, Fahrgestellen und anderen Teilen verwendet.

3. Chemische Industrie: Ferrochrom-Aluminiumlegierungen weisen außerdem eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit auf und können Säuren, Laugen und anderen Korrosionen widerstehen. Daher werden sie häufig bei der Herstellung chemischer Geräte verwendet.

Warum muss das Sputtertarget an eine Rückwandplatine gebunden werden?

1.Wärmeableitung: Während des Sputtervorgangs absorbiert das Target eine große Energiemenge, was zu einem Temperaturanstieg führt. Durch die Bindung einer Rückwandplatine mit hoher Wärmeleitfähigkeit (z. B. einer Kupferrückwandplatine) kann die vom Target erzeugte Wärme effektiv abgeleitet werden, wodurch die Stabilität des Targets und ein gleichmäßiges Sputtern aufrechterhalten werden.

2.Mechanische Unterstützung: Das Ziel ist während des Gebrauchs ständigen physischen Stößen ausgesetzt, und die Bindung an eine stabile Rückwandplatine sorgt für ausreichende mechanische Unterstützung, um Risse oder Verformungen des Ziels zu verhindern.

3.Verbesserte Lebensdauer: Durch die effektive Wärmeableitung und mechanische Unterstützung der Rückwandplatine können Verluste und Verformungen des Ziels reduziert und dadurch die Lebensdauer des Ziels verlängert werden.

4.Verbesserte Sputtereffizienz: Die Rückwandplatine kann dazu beitragen, dass das Ziel die Energie der Sputterstromquelle gleichmäßiger empfängt und so eine effizientere und gleichmäßigere Filmabscheidung erreicht.

 wie man eine Rückwandplatine bindet

1. Behandeln Sie die Ziel- und Backplane-Oberfläche vor dem Binden vor

2. Legen Sie das Target und die Rückwandplatine auf den Löttisch und erhitzen Sie es auf die Bindungstemperatur

3. Metallisieren Sie das Ziel und die Rückwandplatine

4. Kleben Sie das Ziel und die Rückwandplatine zusammen

5.Kühlung


Zeitpunkt der Veröffentlichung: 10. April 2024