Mit der steigenden Marktnachfrage nach Targets gibt es immer mehr Arten von Targets, wie z. B. Legierungstargets, Sputtertargets, Keramiktargets usw. Welche technischen Kenntnisse gibt es über Kupfertargets? Lassen Sie uns nun das technische Wissen über Kupfertargets mit uns teilen.
1. Bestimmung von Maß und Toleranzbereich
Je nach tatsächlichem Bedarf benötigen Kupferziele hochpräzise Erscheinungsmaße, und Ziele mit bestimmten Spezifikationen und Abweichungen werden entsprechend den Kundenanforderungen bereitgestellt.
2. Reinheitsanforderungen
Die Reinheitsanforderungen richten sich hauptsächlich nach der Verwendung durch die Kunden und basieren auf der Zufriedenheit mit den Kundenbedürfnissen.
3. Anforderungen an die Mikrostruktur
① Korngröße: Die Korngröße des Targets beeinflusst die Sputterleistung des Targets. Daher richtet sich die Korngröße hauptsächlich nach den Verwendungsanforderungen des Kunden und wird durch eine Reihe von Schmiedewärmebehandlungen den Anforderungen des Benutzers gerecht.
② Kristallrichtung: Entsprechend den strukturellen Eigenschaften des Kupfertargets werden unterschiedliche Formungsmethoden angewendet und der Wärmebehandlungsprozess wird entsprechend den Anforderungen des Benutzers gesteuert.
4. Anforderungen an die Qualität des Erscheinungsbilds
Die Oberfläche des Targets muss frei von Faktoren sein, die eine schlechte Nutzung verursachen, und die Qualität des Sputterprozesses muss gemäß den Anforderungen des Kunden gewährleistet sein.
5. Anforderungen an das Schweißverbindungsverhältnis
Wenn das Kupfertarget vor dem Sputtern mit anderen Materialien verschweißt wird, muss nach dem Schweißen eine Ultraschallprüfung durchgeführt werden, um sicherzustellen, dass der nicht haftende Bereich der beiden ≥ 95 % beträgt und die Anforderungen des Hochleistungssputterns erfüllt, ohne abzufallen. Für den All-in-One-Typ ist keine Ultraschallprüfung erforderlich.
6. Interne Qualitätsanforderungen
Angesichts der Einsatzbedingungen des Targets muss das Target frei von Defekten wie Poren und Einschlüssen sein. Sie wird durch Verhandlungen mit dem Kunden entsprechend den tatsächlichen Bedürfnissen festgelegt.
Nachdem das Ziel gründlich gereinigt wurde, um sicherzustellen, dass die Oberfläche des Ziels frei von Schmutz und Partikelanhaftungen ist, wird es entsprechend den Anforderungen des Kunden direkt vakuumverpackt.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 05.07.2022