Wie wir alle wissen, ist Reinheit einer der wichtigsten Leistungsindikatoren des Ziels. Im tatsächlichen Einsatz sind auch die Reinheitsanforderungen des Ziels unterschiedlich. Verglichen mit dem allgemeinen industriellen Reintitan ist hochreines Titan teuer und hat einen begrenzten Anwendungsbereich. Es wird hauptsächlich verwendet, um den Bedarf einiger Spezialindustrien zu decken. Was sind also die Hauptanwendungen von hochreinen Titan-Targets? Folgen wir nun dem Spezialist fürRSM.
Der Einsatz hochreiner Titantargets umfasst vor allem folgende Punkte:
1. Biomaterialien
Titan ist ein nichtmagnetisches Metall, das in einem starken Magnetfeld nicht magnetisiert wird, eine gute Verträglichkeit mit dem menschlichen Körper aufweist, keine toxischen Nebenwirkungen hat und zur Herstellung menschlicher implantierter Geräte verwendet werden kann. Im Allgemeinen erreichen medizinische Titanmaterialien nicht das Niveau von hochreinem Titan, aber angesichts der Auflösung von Verunreinigungen im Titan sollte die Reinheit von Titan für Implantate so hoch wie möglich sein. In der Literatur wird erwähnt, dass als biologisches Bindematerial hochreiner Titandraht verwendet werden kann. Darüber hinaus hat auch die Titan-Injektionsnadel mit eingebettetem Katheter das Niveau von hochreinem Titan erreicht.
2. Dekorationsmaterialien
Hochreines Titan weist eine ausgezeichnete atmosphärische Korrosionsbeständigkeit auf und ändert seine Farbe auch nach längerem Einsatz in der Atmosphäre nicht, wodurch die ursprüngliche Farbe von Titan gewährleistet wird. Daher kann hochreines Titan auch als Dekorationsmaterial für Gebäude verwendet werden. Darüber hinaus werden in den letzten Jahren einige hochwertige Dekorationen und einige Wearables wie Armbänder, Uhren und Brillengestelle aus Titan hergestellt, was sich seine Korrosionsbeständigkeit, Nichtverfärbung, langfristig guten Glanz und Nichtsensibilisierung zunutze macht menschliche Haut. Die Reinheit des in einigen Dekorationen verwendeten Titans hat den 5N-Wert erreicht.
3. Inspirationsmaterial
Titan ist ein Metall mit sehr aktiven chemischen Eigenschaften und kann bei hohen Temperaturen mit vielen Elementen und Verbindungen reagieren. Hochreines Titan hat eine starke Adsorption für aktive Gase (z. B.，，CO，， Wasserdampf über 650℃) und der auf der Pumpenwand verdampfte Ti-Film kann eine Oberfläche mit hoher Adsorptionskapazität bilden. Aufgrund dieser Eigenschaft wird Ti häufig als Getter in Ultrahochvakuum-Pumpsystemen eingesetzt. Bei Verwendung in Sublimationspumpen, Sputter-Ionenpumpen usw. kann der endgültige Arbeitsdruck von Sputter-Ionenpumpen bis zu PA betragen.
4. Elektronische Informationsmaterialien
In den letzten Jahren, mit der rasanten Entwicklung der Halbleitertechnologie, der Informationstechnologie und anderen High-Tech-Bereichen, wird hochreines Titan immer häufiger in Sputtertargets, integrierten Schaltkreisen, DRAMs und Flachbildschirmen verwendet, und die Reinheit von Titan ist erforderlich immer mehr. In der Halbleiter-VLSI-Industrie werden Titan-Silizium-Verbindungen, Titannitrid-Verbindungen, Wolfram-Titan-Verbindungen usw. als Diffusionsbarrieren- und Verdrahtungsmaterialien für Steuerelektroden verwendet. Diese Materialien werden durch ein Sputterverfahren hergestellt, und das durch das Sputterverfahren verwendete Titantarget erfordert eine hohe Reinheit, insbesondere ist der Gehalt an Alkalimetallelementen und radioaktiven Elementen sehr gering.
Neben den oben genannten Anwendungsgebieten wird hochreines Titan auch in Sonderlegierungen und Funktionswerkstoffen eingesetzt
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 11. Juli 2022