Zur Unterstützung der Industrie für filmbasierte piezoelektrische MEMS-Sensoren (pMEMS) und Hochfrequenzfilterkomponenten wird die von Rich Special Material Co., Ltd. hergestellte Aluminium-Scandium-Legierung speziell für die reaktive Abscheidung von Scandium-dotierten Aluminiumnitridfilmen verwendet .
Piezoelektrische Dünnschichtmaterialien werden zunehmend in Automobil-, Industrie- und persönlichen elektronischen Geräten verwendet. Zu den Anwendungen gehören PMT-basierte Fingerabdrucksensoren und Gestenerkennungsgeräte, MEMS-Mikrofone, resonatorbasierte chemische Sensoren und medizinische Sensoren. Darüber hinaus werden zunehmend mit Scandium dotierte Aluminiumnitridfilme benötigt, um HF-Filter für 5G-Netzwerkanwendungen zu realisieren. Gleichzeitig nimmt der Anteil an Aluminium-Scandium-Legierungen zu.
Eigenschaften der Al-Sc-Legierung
Äußerst konsistente chemische Homogenität in der gesamten Legierung
Äußerst gleichmäßige chemische Homogenität des Films über die gesamte Lebensdauer des Chips und der Legierung
Reinheit >99,9 %, geringer Sauerstoffgehalt, geringer Gehalt an kritischen Schadstoffen
Kontrollieren Sie die Mikrostruktur genau, um die beste Sputterleistung zu erzielen
Vakuumgegossene, vollständig dichte Legierung mit geringer Haftung, geringer Variabilität und geringer Körnigkeit
Rich Special Material Co., Ltd. unterstützt eine Vielzahl von Legierungsschmelz-, Zielanpassungs- und F&E-Dienstleistungen.
Zeitpunkt der Veröffentlichung: 11. November 2022