FeCoTa Sputtertarget Hochreine Dünnschicht-PVD-Beschichtung nach Maß
Eisen-Kobalt-Tantal
Eisen-Kobalt-Tantal-Targets sind normalerweise in kreisförmiger Form und als kritische Dünnschichtmaterialien für vertikale magnetische Aufzeichnungsmedien erhältlich. Der beträchtliche Anteil an Tantal in der Legierung würde zu einer Entmischung und zu ungelösten Partikeln führen. Wir verwenden eine einzigartige Produktionsmethode, die die Homogenität der Mikrostruktur gewährleisten und die mechanischen Eigenschaften der Materialien verbessern kann.
| Produktname | FeCoTa | |||
| Fe/Gew.-% | Gleichgewicht | Gleichgewicht | Gleichgewicht | |
| Co/Gew.-% | 21,6 ± 0,5 | 21,9 ± 0,5 | 20,2 ± 0,5 | |
| Ta/Gew.% | 41,1 ± 0,8 | 39,4 ± 0,8 | 44,3 ± 0,8 | |
| Gehalt an Metallverunreinigungen（ppm） | Ni | ≤100 | ≤100 | ≤100 |
| Al | ≤300 | ≤300 | ≤300 | |
| Si | ≤200 | ≤200 | ≤200 | |
| Gehalt an Gasverunreinigungen（ppm） | C | ≤200 | ≤200 | ≤200 |
| N | ≤100 | ≤100 | ≤100 | |
| O | ≤600 | ≤600 | ≤600 | |
| S | ≤75 | ≤75 | ≤75 | |
Rich Special Materials ist auf die Herstellung von Sputtertargets spezialisiert und kann Eisen-Kobalt-Tantal-Sputtermaterialien gemäß den Spezifikationen der Kunden herstellen. Für weitere Informationen kontaktieren Sie uns bitte.
