Nu forstår flere og flere brugere, hvilke typer mål ogdens applikationer, men underinddelingen af den er måske ikke særlig klar. Lad os nuRSM ingeniør dele med dignoget induktion af magnetronforstøvningsmål.
Sputtering-mål: metalforstøvningsbelægningsmål, legeringsforstøvningsbelægningsmål, keramisk sputtering-belægningsmål, borid-keramisk sputtermål, karbidkeramisk sputtermål, fluorid-keramisk sputtermål, nitridkeramisk sputtermål, oxidkeramisk mål, selenidkeramisk sputtermål, silicidforstøvningsmål mål, sulfid keramisk sputtermål, tellurid keramisk sputtermål, andre keramiske mål, chromdoteret siliciumoxidkeramisk mål (CR SiO), indiumphosphidmål (INP), blyarsenidmål (pbas), indiumarsenidmål (InAs).
Magnetronforstøvning er generelt opdelt i to typer: DC sputtering og RF sputtering. Princippet for DC-forstøvningsudstyr er enkelt, og dets hastighed er også hurtig, når der forstøvs metal. RF sputtering er meget udbredt. Ud over at sputtere ledende data kan den også sputtere ikke-ledende data. Sputtering-målet kan også bruges til reaktiv sputtering til at fremstille sammensatte data såsom oxider, nitrider og carbider. Hvis RF-frekvensen stiger, vil det blive til mikrobølgeplasmaforstøvning. På nuværende tidspunkt er elektroncyklotronresonans (ECR) mikrobølgeplasmaforstøvning almindeligt anvendt.
Indlægstid: 26. maj 2022