Sputtering titanium legering target og titanium metal er sammensat af titanium, så informationen er nogenlunde den samme, men forskellen mellem de to ligger hovedsageligt i at sputtering titanium legering target er lavet af titanium metal på flere måder, og titanium forekommer i naturen som en titanium malm.Titanium legeringsmål kan bruges i vid udstrækning i mange erhvervskategorier, nu opsummerede Beijing Richmats forfatter flere almindelige titanium legering mål med hensyn til brugen af situationen for at give os en detaljeret introduktion.
,
一、Ti-mål for integrerede kredsløb
Kravene til sputtering af titanlegeringsmål er forskellige mellem ikke-integrerede kredsløb og integrerede kredsløb. Generelt har integrerede kredsløb højere krav til belægningsdata, såsom højere renhed, mindre kornstørrelse og mere nøjagtig skaleringsnøjagtighed. Renheden af titaniummål i integrerede kredsløb er større end 99,995 %, hvilket er højere end den, der anvendes i ikke-integrerede kredsløb. kredsløb, hvilket indikerer, at forskellige anvendelser af titaniummålkrav er meget forskellige.
二、Ti-mål til fladskærm
Titaniumlegeringsmål, der bruges i fladskærme, omfatter flydende krystalskærm, plasmaskærm, elektroluminescensskærm og feltemissionsskærm. Den tynde film af fladskærme er sputtered forming-metoden, Al, Cu, Ti og Mo er de primære metalforstøvningsmål til fladskærme skærme.Renheden af titanlegeringsmål til fladskærme er normalt større end 99,9 %.
三、Ti-mål til dekorative materialer
Høj renhed titanium legering målmateriale har fremragende luftkorrosionsbestandighed, langvarig brug i luften ændrer ikke farve, for at sikre, at den originale farve af titanium og menneskelig kontakt ikke er allergisk og andre fremragende egenskaber. Derfor kan titanium med høj renhed også bruges som dekorative materialer, i de seneste år, såsom armbånd, ure og briller og andre ornamenter med titanium renhed har nået 5N niveau.
四、Ti-mål til ultrahøjvakuumpumpesystemer
Som et kemisk aktivt metal kan titanium reagere med mange grundstoffer og forbindelser ved høj temperatur. Det højrente titanlegeringsmål har en stærk adsorptionskapacitet for aktive gasser (såsom O2, N2, CO, CO2, vanddamp over 650°C), og Ti-filmen, der fordamper på pumpevæggen, kan danne en overflade med høj adsorptionsydelse. . Denne egenskab gør Ti meget udbredt som en getter i et ultrahøjvakuum gasudvindingssystem. Hvis det bruges til at forbedre pumpen, sputterionpumpen osv., kan det gøre det ultimative driftstryk for sputterionpumpen så lavt som 10-9PA
Indlægstid: 25-apr-2022