1、 Sputtering forberedelse
Det er meget vigtigt at holde vakuumkammeret, især sputtersystemet rent. Enhver rest dannet af smøreolie, støv og tidligere belægning vil opsamle vanddamp og andre forurenende stoffer, som direkte vil påvirke vakuumgraden og øge muligheden for filmdannende fejl. Kortslutning eller lysbuedannelse, ru filmoverflade og for højt indhold af kemiske urenheder er ofte forårsaget af urent sputterkammer, sputterpistol og mål. For at overholde belægningens sammensætningsegenskaber er det nødvendigt at rense og tørre sputtergassen (argon eller oxygen). Efter at substratet er installeret i sputterkammeret, skal luften trækkes ud for at nå det vakuum, der kræves af processen. Afskærmningsdækslet i det mørke område, hulmur og tilstødende overflade skal også holdes rent. Ved rengøring af vakuumkammeret anbefaler vi at bruge kugleblæsning til at behandle de støvede dele, sammen med trykluft for at fjerne de tidlige sputterrester omkring kammeret, og derefter stille og roligt polere den udvendige overflade med aluminaimprægneret sandpapir. Efter polering af gazepapiret rengøres det med alkohol, acetone og deioniseret vand. Sammen går det ind for brugen af industristøvsuger til hjælperengøring. Målene produceret af Gaozhan metal er pakket i vakuumforseglede plastikposer,
Indbygget fugttæt middel. Når du bruger målet, bedes du ikke røre målet direkte med din hånd. Bemærk: Når du bruger målet, skal du bære rene og fnugfri vedligeholdelseshandsker. Rør aldrig målet direkte med dine hænder
2、 Mål rengøring
Formålet med målrensning er at fjerne støv eller snavs, der kan findes på overfladen af målet.
Metalmålet kan rengøres i fire trin,
Det første trin er at rengøre med en fnugfri blød klud vædet i acetone;
Det andet trin ligner det første trin, rengøring med alkohol;
Trin 3: Rengør med deioniseret vand. Efter vask med deioniseret vand placeres målet i ovnen og tørres ved 100 ℃ i 30 minutter.
Rengøring af oxid- og keramiske mål skal udføres med "fnugfri klud".
Det fjerde trin er at vaske målet med argon med højt tryk og lav vandgas efter at have fjernet det støvede område, for at fjerne alle urenhedspartikler, der kan danne buer i sputtersystemet
3、 Målenhed
I processen med målinstallation er Z vigtige forholdsregler at sikre en god termisk ledningsforbindelse mellem målet og sputterpistolens kølevæg. Hvis forvridningen af kølestaven er alvorlig, eller forvridningen af bagpladen er alvorlig, vil målanordningen revne eller bøje, og den termiske ledningsevne fra bagmålet til målet vil blive stærkt påvirket, hvilket resulterer i svigt af varmeafgivelsen i sputteringsprocessen, og målet vil revne eller gå glip af
For at sikre den termiske ledningsevne kan et lag grafitpapir polstres mellem katodekølevæggen og målet. Vær opmærksom på omhyggeligt at kontrollere og tydeliggøre fladheden af kølevæggen på den brugte sprøjtepistol for at sikre, at O-ringen altid er på plads.
Da renheden af det anvendte kølevand og støvet, der kan opstå under driften af udstyret, vil blive aflejret i katodekølevandstanken, er det nødvendigt at kontrollere og rense katodekølevandsbeholderen, når målet installeres for at sikre en jævn cirkulation af kølevand og at ind- og udløb ikke bliver blokeret.
Nogle katoder er planlagt til at have et lille mellemrum med anoden, så ved montering af målet er det påkrævet at sikre, at der ikke er nogen berøring eller leder mellem katoden og anoden, ellers vil der opstå en kortslutning.
Se udstyrets betjeningsvejledning for information om, hvordan du betjener målet korrekt. Hvis der ikke er sådanne oplysninger i brugervejledningen, prøv venligst at installere enheden i henhold til de relevante forslag fra Gaozhan metal. Når du spænder målfiksturen, skal du først spænde en bolt med hånden, og derefter stramme en anden bolt på diagonalen med hånden. Gentag dette, indtil alle boltene på enheden er spændt, og spænd derefter med noget.
4、 Kortslutnings- og tæthedsinspektion
Efter færdiggørelsen af målanordningen er det nødvendigt at kontrollere kortslutningen og tætheden af hele katoden,
Det foreslås at afgøre, om der er en kortslutning i katoden ved at anvende en modstandsmåler
Rækkediskrimination. Efter at have bekræftet, at der ikke er kortslutning i katoden, kan lækagedetektion udføres, og der kan indføres vand i katoden for at bekræfte, om der er vandlækage.
5、 Mål for sputtering
Target pre sputtering går ind for ren argon sputtering, som kan rense overfladen af målet. Når målet er forforstøvet, anbefales det at øge sputtereffekten langsomt, og effektforøgelseshastigheden for det keramiske mål er 1,5 WH/cm2. Forforstøvningshastigheden for metalmål kan være højere end for keramisk målblok, og en rimelig effektforøgelseshastighed er 1,5 WH / cm2.
I processen med præ-sputtering skal vi kontrollere målets buedannelse. Forforstøvningstiden er generelt omkring 10 minutter. Hvis der ikke er noget lysbuefænomen, skal du løbende øge sputtereffekten
Til den indstillede effekt. Ifølge erfaring er den acceptable Z høje sputtereffekt af metalmål
25 watt / cm2, 10 watt / cm2 for keramisk mål. Se venligst indstillingsgrundlaget og oplevelsen af vakuumkammertryk under sputtering i brugerens systembetjeningsvejledning. Generelt bør det sikres, at vandtemperaturen ved udløbet af kølevand skal være lavere end 35 ℃, men Z er det vigtigt at sikre, at det cirkulerende system af kølevand kan fungere effektivt
Den hurtige cirkulation af superkølende vand fjerner varme, hvilket er en vigtig garanti for at sikre kontinuerlig sputtering med høj effekt. For metalmål anbefales det generelt, at kølevandsstrømmen er
20 lpm vandtryk er omkring 5 gmp; For keramiske mål anbefales det generelt, at vandstrømmen er 30 lpm og vandtrykket er omkring 9 gmp
6、 Målvedligeholdelse
For at forhindre kortslutning og buedannelse forårsaget af urent hulrum i sputteringsprocessen, er det nødvendigt at fjerne sputteren, der er akkumuleret i midten og på begge sider af sputtersporet i etaper,
Dette hjælper også brugerne til kontinuerligt at sputtere ved z høj effekttæthed
7、 Målopbevaring
Målene leveret af Gaozhan metal er pakket i dobbeltlags vakuumplastikposer. Vi går ind for, at brugerne opbevarer målene, hvad enten de er metal eller keramik, i vakuumemballage. Især skal bindingsmålene opbevares under vakuumforhold for at forhindre, at oxidationen af bindingslaget påvirker bindingskvaliteten. Med hensyn til emballage af metalmål går vi ind for, at Z skal pakkes i rene plastikposer
Indlægstid: 13. maj 2022