Om anvendelsen og princippet om sputtering target-teknologi, har nogle kunder konsulteret RSM, nu for dette problem, der er mere bekymret over, tekniske eksperter deler nogle specifikke relateret viden.
Sputtering mål applikation:
Ladende partikler (såsom argonioner) bombarderer en fast overflade, hvilket får overfladepartikler, såsom atomer, molekyler eller bundter til at undslippe fra overfladen af objektfænomenet kaldet "forstøvning". Ved magnetronforstøvningsbelægning bruges de positive ioner, der genereres ved argonionisering, sædvanligvis til at bombardere det faste stof (mål), og de sputterede neutrale atomer aflejres på substratet (arbejdsemnet) for at danne et filmlag. Magnetron sputtering belægning har to karakteristika: "lav temperatur" og "hurtig".
Magnetron sputter princip:
Et ortogonalt magnetfelt og elektrisk felt tilføjes mellem den sputterede målpol (katode) og anoden, og den nødvendige inerte gas (normalt Ar-gas) fyldes i højvakuumkammeret. Den permanente magnet danner et 250-350 Gauss magnetfelt på overfladen af målmaterialet og danner et ortogonalt elektromagnetisk felt med det elektriske højspændingsfelt.
Under påvirkning af elektrisk felt ioniseres Ar-gas til positive ioner og elektroner, og der er et vist negativt højtryk på målet, så elektronerne, der udsendes fra målpolen, påvirkes af magnetfeltet og ioniseringssandsynligheden for arbejdet. gas stiger. Et højdensitetsplasma dannes nær katoden, og Ar-ioner accelererer til måloverfladen under påvirkning af Lorentz-kraft og bombarderer måloverfladen med høj hastighed, så de sputterede atomer på målet undslipper fra måloverfladen med høj kinetisk energi og flyve til substratet for at danne en film i henhold til princippet om momentumkonvertering.
Magnetronsputtering er generelt opdelt i to slags: DC-forstøvning og RF-forstøvning. Princippet for DC-forstøvningsudstyr er enkelt, og hastigheden er høj ved sputtering af metal. Anvendelsen af RF-forstøvning er mere omfattende, ud over sputtering af ledende materialer, men også sputtering af ikke-ledende materialer, men også reaktiv sputtering fremstilling af oxider, nitrider og carbider og andre sammensatte materialer. Hvis frekvensen af RF stiger, bliver det til mikrobølgeplasmaforstøvning. På nuværende tidspunkt er mikrobølgeplasmaforstøvning af elektroncyklotronresonans (ECR)-typen almindeligt anvendt.
Indlægstid: Aug-01-2022